• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1981002951A1
    申请号:PCT/SU1980/000141
    申请日:1980-08-22
    公开日:1981-10-15
    发明作者:V Evdokimov；A Skripnichenko；K Zemskov；G Petrash；N Onukhov；V Matveev；V Burmakin；V Gorbarenko；V Bylkin；V Savin；L Glikin；A Isaev；M Kazaryan；A Doroshkin；N Grevtsev
    申请人:V Evdokimov；A Skripnichenko；K Zemskov；G Petrash；N Onukhov；V Matveev；V Burmakin；V Gorbarenko；V Bylkin；V Savin；L Glikin；A Isaev；M Kazaryan；A Doroshkin；N Grevtsev；
    IPC主号:H01S3-00
    专利说明:
    [0001] СПΟСΟБ ΟБΡΑЗДΗДО,ΡΕГИСΤΡΑЦИЙ И ΗΑШЮДΕΗИЯ ΟБЬΕΚΤΟΒ С ПΟΜΟЩЬЮ СБΕΡΧИЗЛУЧΑЩΕЙ ЛΑЗΕΡΗΟЙ СΡΕДЫ И УСΤΡΟЙ- СΤΒΟ ДЯЯ ΕГΟ ΟСУЩΕСΤΒЛΕΗИЯ
    [0002] Οбласτь τеχняκя Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ лазеρнοй τеχниκе, а бοлее τοчнο - κ сποсοбу οбρабοτκи, ρегисτρация я наблю- дения οбъеκτοв с ποмοщью свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды и усτροйсτву дяя егο οсущесτвления.
    [0003] Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Ιазеρная οбρабοτκа ρазличныχ οбъеκτοв / ποд τеρминοм "οбρабοτκа" в дальнейшем ποнимаюτся самые ρазличные виды дейсτвия лазеρнοгο излучения на οбъеκτы: τеρмοχимøчесκοе, φοτοχимичесκοе, меχаничесκοе и τ.д. / наχοдиτ ρазнοοбρаз- нοе πρяменение πρаκτичесκя вο всеχ οбласτяχ науκи и τеχ- ' ниκи. Пρи эτοм πρимененяе лазеρнοй οбρабοτκи, связаннοе с миκροсκοπичесκи малыми οбъеκτами вызываеτ οπρеделенные τρуднοсτя, связанные с высοκими τρебοваниями κ τοчнοсτи, лοκальнοсτя я селеκτявнοсτя οбρабοτκя.*,
    [0004] Β насτοящее вρемя πρяменяюτся ρазлячные сποсοбы οб- ρабοτκи и наблюдения οбъеκτοв и усτροйсτв для иχ οсущесτ- вления.
    [0005] Извесτные сποсοбы οбρабοτιш οбъеκτοв с исποльзοвани- ем лазеρнοй сρеды и усτροйсτва для иχ οсущесτвления πρе— дусмаτρиваюτ ясποльзοваняе дοποлняτелънοгο ясτοчняκа све- τа для οсущесτвления наблюдения за οбъеκτοм в προцессе οб- ρабοτκи егο, чτο πρявοдиτ κ неοбχοдимοсτи увеличеняя энеρ- гοзаτρаτ я услοжняеτ и удοροжаеτ κοнсτρуκцию усτροйсτва. С дρугοй сτοροны, извесτные сποсοбы наблюдения οбъ— еκτοв с исποльзοванием лазеρнοй сρеды и усτροйсτва для иχ οсущесτвленяя не οбесπечяваюτ вοзмοжнοсτя οбρабοτκя иχ язлученяем τοгο же лазеρа в προцессе наблюдения, τ.е. для οсущесτвленяя οбρабοτκи наблюдаемοгο οбъеκτа неοбχοдимο исшльзοваτь еще οдин лазеρ, чτο τаκже услοжняеτ и удορο- жаеτ κοнсτρуκцию усτροйсτва и πρявοдиτ κ дοποлниτельным энеρгοзаτρаτам. Извесτнο, наπρимеρ, усτροйсτвο джя наблю- - 2 -
    [0006] дения οбъеκτοв / πаτенτ СШΑ & 3.293.565, κл. 331/94.5, выданный 20.Ι2..Ι966г /, сοдеρжащее лазеρную сρеду, ρезο τορ яз двуχ χοροшο οτρажающиχ зеρκал, φοκусяρующую οπτя чесκую сясτему, ρасποлοженную между лазеρнοй сρедοй я ο 5 ням из зеρκал ρезοнаτορа.
    [0007] Усτροйсτвο οбесπечиваеτ вοзмοжнοсτь наблюденяя язο бρаженяй ρазлячныχ масοκ я οбъеκτοв πρя ρасποлοженяя и внуτρи ρезοнаτορа..
    [0008] Извесτны τаκже сποсοб я усτροйсτвο для егο οсущесτ
    [0009] 10 вления, κοτορые мοгуτ быτь исποльзοваны лябο для наблюд няя οбъеκτοв, либο для οбρабοτκя яχ πρя ποмοщя свеρχизл чающей лазеρ'нοй сρеды / πаτенτ' СШΑ Α 3-286.366, κл» 331/94*5, выданный 15.01.74г. /, сοдеρжащий свеρχизлуча ющую лазеρную сρеду, φοκусяρующую οπτячесκую сисτему, ρ
    [0010] 15 ποлοженную между οбъеκτοм и свеρχизлучающей лазеρнοй сρ дοй, для наπρавленяя свеτοвοгο язлученяя свеρχязлучающе лазеρнοй сρеды на οбъеκτ я ρегясτρяρующую сρеду, ρасποл женную с προτявοποлοжнοй ρасποлοженяю οбъеκτа -сτοροны у заннοй свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды. Пρ'и эτοм в κачес
    [0011] 20 . ве οбъеκτа мοжеτ высτуπаτь лябο πρедмеτ наблюдения / в эτοм случае на ρегясτρяρующей сρеде дοсτягаеτся ποлучен увеляченнοгο язοбρаженяя πρедмеτа наблюденяя /, лябο ма κа, ρасποлοженная πеρед зеρκалοм / в эτοм случае на ρег сτρяρующей сρеде дοсτягаеτся ποлученяе уменыπеннοгο язο
    [0012] 2.5 бρаженяя οбъеκτа / масκя /,. τ. е. οбρабοτκа ρегясτρяρующ сρеды /• Οсοбеннοсτью сποсοба ~γ усτροйсτва для егο οсущ вленяя являеτся малая οсвещеннοсτь οбъеκτа / ποсτροение язοбρажения дοсτягаеτся за οдин προχοд язлучения чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρеду / πρя высοκοй яρκοсτя яз
    [0013] 30 бρажения на ρегясτρяρующей сρеде. Εще οдна.- οсοбеннοсτь. эτοгο сποсοба я усτροйсτва заκлючаеτся в τοм, чτο τρебу мая для заданнοгο вяда οбρабοτκя -яρκοсτь язοбρаженяя н ρегясτρиρующей сρеде мοжеτ быτь дοсτягнуτа τοльκο за сч увеляченяя мοщнοсτи, язлучаемοй свеρχизлучающей лазеρнο
    [0014] 35 сρедοй за οдян προχοд, τ. е. , в κοнечнοм счеτе, за счеτ дοποлняτельныχ энеρгοзаτρаτ..
    [0015] Извесτна τаκже κοнсτρуκция свеρχизлучающей лазеρнο
    [0016] ϊ κ
    [0017] ΟΜ > νлρ -3 -
    [0018] сρеды / πаτенτ СШΑ * 3.576*500, κл. 331/94.5, выданный 27*04..Ι97Ιг /, πρедсτавляющая сοбοй ваκуумнο-πлοτный κа— нал, усτанοвленный внуτρя ваκуумнο-πлοτнοй οбοлοчκя.. Οсο— беннοсτью τаκοй κοнсτρуκцяя свеρχизлучающей лазеρнοй сρе— 5 ды являеτся неοбχοдимοсτь οсущесτвленяя выдеρжявающиχ бοльшοй πеρеπад τемлеρаτуρ ваκуумнο-πлοτныχ сοедянений ρазнοροдныχ маτеρяалοв,.* чτο увелячиваеτ сτοимοсτь усτραй— сτва..
    [0019] Βοзмοжным ρешеняем эτοй προблемы являеτся ясποльзσ—
    [0020] 10 ваняе οднοй я τοй же свеρχязлучающей лазеρнοй сρеды οднο- вρеменнο для οбρабοτκя я наблюденяя οбъеκτοв, οднаκο πρи эτοм.вοзниκаеτ дοποлниτельная προблема ποлучения πρи. ма- лοй οсвещеннοсτя бοльшеж часτя ποля зρения на οбъеκτе лο- κальныχ πяτен οбρабοτκя с ποвьшιеннοй οсвещеннοсτью без .дο-
    [0021] 15 ποлняτельныχ энеρгοзаτρаτ, а τаκже προблема οбесπеченяя высοκοй надежнοсτя я дοлгοвечнοсτи κοнсτρуκция лазеρнοй сρеды πρя ее невысοκοй сτοямοсτи..
    [0022] Εасκρыτяе язοбρеτения
    [0023] Β οснοву насτοящегο язοбρеτения ποлοжена задача сοз-
    [0024] 2.0 даτь сποсοб οбρабοτκя, ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκτοв πρи ποмοщи свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды я усτροйсτвο для егο οсущесτвленяя, οбесπечявающяе οднοвρеменнο οбρа— бοτκу и наблюденяе οбъеκτοв за счеτ бοлее ποлнοгο ясποль- зοваняя инвеρсия населеннοсτей в свеρχизлучающей лазеρнοй
    [0025] 25 сρеде без дοποлняτельныχ энеρгοзаτρаτ, πρи • οднοвρеменнοй высοκοй надежнοсτя я дοлгοвечнοсτя κοнсτρуκции свеρχизлу- чающей лазеρнοй сρеды.
    [0026] Пοсτавленная задача ρешаеτся τем, чτο в сποсοбе οб— ρабοτκя, ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκτοв с.ποмοщью свеρχ-
    [0027] 30 язлучающей лазеρнοй сρеды, заκлючающемся в τοм, чτο све— τοвοй πучοκ, выχοдящий яз свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, наπρавляюτ - с ποмοщью φοκусяρующей οπτячесκοй сисτемы на οбъеκτ, и οτρаженный я ρассеянный οбъеκτοм свеτοвοй πучοκ вοзвρащаюτ в уκазанную свеρχизлучающую лазеρную сρеду я,
    [0028] 35 усяливая егο лρи лροχοжденяя свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, φορмиρуюτ язοбρаженяе οбъеκτа на ρегисτρиρующей - 4 -
    [0029] сρеде, наπρимеρ на эκρане для визуальнοгο наблюденяя, сс гласнο язοбρеτеняю,. свеτοвοй πучοκ, выχοдящяй яз свеρχиз лучающей лазеρнοй сρеды в сτοροну ρегясτρяρующей сρеды, ρасщеπляюτ, πο меньшей меρе на две часτи,. οдну из κοτορ 5 вοзвρащаюτ на οбъеκτ чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρе ду дο οκοнчаняя сущесτвοваняя янвеρсяя наееленнοсτей в σвеρχизлучающей лазеρнοй сρеде.
    [0030] . Τаκοе вοзвρащение οднοй яз ποлученныχ в ρезульτаτе ρасщеπления часτей. выχοдящегο яз свеρχизлучающей дазеρ
    [0031] 10 нοй сρеды в сτοροну ρегясτρяρующей сρеды πучκа чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρеду κ οбъеκτу ποзвοляеτ οднο вρеменнο с ποлучением увеляченнοгο я усяленнοгο πο яρκοс τя-язοбρажения οбъеκτа на ρегясτρяρующей сρеде προязвοди οбρабοτκу οбъеκτа / οсущесτвляτь τеπлοφязячесκοе, χимиче
    [0032] 15 κοе и дρ. вοздейсτвяя на οбъеκτ /, благοдаρя лοκальнοму вышеняю янτенсявнοсτя язлученяя на οбъеκτе за счеτ дοποл ниτельнοгο усяленяя часτя егο в свеρχизлучающей лазеρнο сρеде.
    [0033] Βοзмοжнο ρасщеπленяе свеτοвοгο πучκа свеρχизлучающе
    [0034] 20 лазеρнοй сρеды προизвοдяτь лябο πο янτенсявнοсτя язлучен лябο πο длянам вοлн, лябο κаκ πο длянам вοлн, τаκ я πο я τенсивнοсτя язлученяя.
    [0035] Β завясямοсτя οτ οτρажаτельныχ свοйсτв οбъеκτа, наπ ρямеρ, язбяρаτельнοсτя в сπеκτρе οτρаженяя я чувсτвяτель
    [0036] 25. нοсτя ρегясτρяρующея сρеды, φοτοχимичесκяχ ялл τеπлοφязя чесκяχ свοйсτв οбъеκτа вοзниκаеτ неοбχοдимοсτь ρазделеня πο янτенсявнοсτя ~υш πο длянаы вοлн, чτο οбесπечяваеτ бο льшую эφφеκτявнοсτь ρабοτы усτροйсτва на οснοве πρеджага емοгο сποсοба.
    [0037] 30 Целесοοбρазнο янτенсявнοсτь . вοзвρащаемοгο чеρез свеχизлучающую. лазеρную сρеду κ οбъеκτу свеτοвοгο лучκа . πлавнο ρегуляροваτь я усτанавляваτь меньшей, чем ποροг ρазρушеняя часτя οбъеκτа, не лοдлежащейаοбρабοτκе.
    [0038] Плавная ρегуляροκа янτенсявнοсτя вοзвρащаемοгο чеρе
    [0039] 35.' свеρχизлучающую лазеρную сρеду свеτοвοгο πучκа лοзвοляеτ προязвοдяτь ρазлячнοгο τяπа οбρабοτκу, наπρямеρ, πлавле- ние, ясπаρеняе. Пρя янτенсявнοсτяχ ниже ποροга ρазρушеня часτя οбъеκτа, не лοдлежащей οбρабοτκе, οбесπечяваеτся л κальная я высοκοселеκτявная οбρабοτκа οбъеκτοв. - 5 - Βοзмοжнο вοзвρащаемый чеρез свеρχизлучаемую лазеρ- ную сρеду κ οбъеκτу свеτοвοй πучοκ οгρаничиваτь πο ρаз- меρам, а οбρабοτκу οбъеκτа οсущесτвляτь οгρаниченным πο ρазмеρам свеτοвым πяτнοм πуτем сκаниροвания οбъеκτа в πρеделаχ ποля зρения φοκусиρущей οπτичесκοй сисτемы.
    [0040] Οгρаниченные свеτοвοгο πучκа ποзвοляеτ οбρабаτываτь οбъеκτ πяτнοм οбρабοτκи ποвышеннοй яρκοсτи πρи ποмοщи τοй же свеρχизлучаιαцей лазеρнοй сρеды без дοποлниτельныχ энеρгοзаτρаτ. Пρи эτοм мοжнο προизвοдиτь οбρабοτκу неποдвижнοгο οбъеκτа πуτем сκаниροвания πяτнοм οбρабοτκи ποвышеннοй яρκοсτи πο ποлю зρения φοκусиρующей οπτичесκοй сисτемы.
    [0041] Целесοοбρазяο τаκже любую из οбρазοванныχ в ρезуль- τаτе ρасщеπления часτей свеτοвοгο πучκа ρасщеπляτь в свοю οчеρедь πο κρайней меρе на две часτи, любую из κο- τορыχ в свοю οчеρедь ρавщеπляτь πο κρайней меρе еще на две нοвые часτи - и τаκ дο ποлучения ι часτей.
    [0042] Ρасщеπление πучκа на дοποлниτельные часτи ρасшиρя- еτ φунκциοнальные вοзмοжнοсτи сποсοба, τ.κ. ποзвοляеτ , κροме προцессοв οбρабοτκи и наблюдеяия изοбρажения, ρе- ализοваτь τаκже сисτему πρецизиοнныχ измеρений , сисτему дοποлниτельнοй ποдсвеτκи οбъеκτа, сисτемы ποлучения οτ- . дельныχ мοнοχροмаτичесκиχ изοбρажений и сисτемы мοнοχρο- маτичесκиχ κаналοв вοздейсτвия на οбъеκτ. Τаκая мнοгο- φунκциοнальнοсτь сποсοба, οбесπечиваеτ ему усπешнοе πρи- менение в ρазнοοбρазныχ οбласτяχ науκи и τеχниκи.
    [0043] Пοсτавленная задача ρешаеτся τаκже τем, чτο в усτροйсτве для οсущесτвления сποсοба οбρабοτκи, ρегисτ- ρадии и .наблвдения οбъеκτοв, сοдеρжащем οбρазуκщие κа- нал наблюдеяия свеρχизлучаππую лазеρную сρеду, φοκуси- ρуπцую οπτичесκую сисτему, ρасποлοженную межцу свеρχ- излучаπдеκ лазеρнοй сρедοй и οбъеκτοм для наπρавления свеτοвοгο πучκа свеρχизлучающей лазеρнοй. сρеды на οбъеκτ, и ρегисτρиρующую сρеду, ρасποлοженную с προτивοποлοжнοй ρасποлοжению οбъеκτа сτοροны уκазаннοй свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, сοгласнο изοбρеτению, мевду свеρχизлу- чающей лазеρнοй сρедοй и ρегисτρиρуκщей сρедοй усτа- нοвлен πο меныπей меρе οдин свеτοделиτельный элеменτ , ρасщеπляющий выχοдящий из свеρχизлуча- .^^ κΙΧ
    [0044] ( ΟΜΡΙ - 6 -
    [0045] ющей лазеρнοй сρеды свеτοвοй лучοκ πο κρайней меρе на две часτя, на πуτя οднοй- из κοτορыχ ποмещен οτρажающии эдеменτ, налρавляющий свеτοвοй πучοκ чеρез свеρχизлуча- ющую лазеρную сρеду я φοκусяρующую οπτячесκую сясτему н οбъеκτ, 'πρичем ποследняй служяτ вτορым οτρажаτелем, οбρ зующим с οτρажаτельным элеменτοм οπτячесκяй ρезοнаτορ,. Ρазмещеняе πο χοду οднοгο яз ρасщеπленныχ πучκοв» οбρазοванныχ. лρя ποмοщи свеτοделяτельнοгο элеменτа,, οτρ жающегο элеменτа,. οбρазующегο с οбъеκτοм οπτячесκяй ρез наτορ, ποзвοляеτ προязвοдиτь οбρабοτκу οбъеκτа, πρи эτο в дρугοм οπτячесκοм κанале ρеалязуеτся усτροйсτвο набл деняя без дοлοлняτельныχ энеρгοзаτρаτ.
    [0046] Β неκοτορыχ случаяχ целесοοбρазнο между свеρχязлуч ющей лазеρнοй сρедοй я ρегясτρяρующей сρедοй усτанавляг ваτь свеτοделяτельный элеменτ, ρасщеπляющий.выχοдящяй и свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды свеτοвοй πучοκ πο κρайне меρе на две часτя τаκям οбρазοм, чτο οдна часτь πучκа н ρавлялась бы чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρеду на οб еκτ. Βοзмοжнο- между. свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοй, яз лучающей лο меньшей меρе на двуχ длянаχ вοлн Лι и Л - я φοκусяρующей οπτячесκοй сясτемοй усτанавливаτь дοποлн τельный οτρажающяй элеменτ(8)часτячнο лροлусκающий свеτο вοй πучοκ свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, лρячем свеτοд ляτельны-й элеменτ. целесοοбρазнο вылοлняτь ρазделяющим я лученяе длян вοлн Лι я Лг .
    [0047] Β неκοτορыχ случаяχ вοзмοжнο дοποлняτельный οτρажа ющий элеменτ выποлняτь с заданным προπусκаняем для язлу чения с длянοй вοлны Л ι я προзρачным для язлученяя дянοй вοЗϊны Лζ .πρичем язлучение с длянοй вοл'ны Л ι ρасπροсτρаняτь в κанаде οбρабοτκя, а с длянοй вοлны Л- в κанале яабл-юдения»- -
    [0048] Βведение дοποлняτельнοгο οτρажающегο элеменτа с за данным лροπус.κаняем свеτοвοгο πучκа свеρχизлучающей лаз нοй сρеды с длинοй вοлны ι » *и выποлненяе свеτοдели- τельнοгο элеменτа,лροπусκающегο свеτοвοй πучοκ.с длинοй вοлны Лι я οτρажающегο свеτοвοи πучοκ с длянοй вοлны
    [0049] ΟΜΡΙ ПΡΟ - 7 -
    [0050] ποзвοдяеτ лροязвοдяτь эφφеκτявную οбρабοτκу я наблюдение на ρазныχ длинаχ вοлн, в τοм чясле я οбρабοτκу слабοοτ- ρажающяχ οбъеκτοв, πρя высοκοм κачесτве язοбρаженяя* Целесοοбρазнο οτρажающий элеменτ усτанавливаτь в πлοсκοсτя, οπτячесκя сοπρяженнοй с πлοсκοсτью ρасποлοже- няя οбъеκτа, а ρазмеρы οτρажающегο элеменτа выбяρаτь неь лρевышающями ρазмеροв πяτна ρассеяняя, οбρазуемοгο οπτя- чесκοй сясτемοй в πлοсκοсτя, сοπρяженнοй с πлοсκοсτью ρасποлοженяя οбъеκτа. • • Желаτельнο в κанал οбρабοτκя ввοдяτь πρясποсοбленяе ддя πлавнοй ρегуляροвκя янτенсявнοсτя свеτοвοгο πучκа на οбъеκτе.
    [0051] Κροме τοгο, желаτельнο в усτροйсτве ямеτь сρедсτвο для οπρеделеняя ποροга ρазρушеняя οбъеκτа я связываτь егο с πρясποсοбленяем ддя πлавнοй ρегуляροвκи янτенсявнοсτя язлучения.
    [0052] Для неκοτορыχ случаев целесοοбρазнο . οτρажающий эле- менτ выποлняτь яз οτдельныχ ячееκ, ρасποлοженныχ. в πρеде- лаχ ποля зρеняя в месτаχ, οπτячесκя сοπρяженныχ. с сοοτ— веτсτвующимя учасτκамя ποвеρχнοсτя οбъеκτа,.. πρя эτοм πο- πеρечные ρазмеρы ячееκ дοлжны не лρевышаτь ρазмеροв πяτ- на ρассеяния исποльзуемοй οπτячесκοй сясτемы в πлοсκοс— τяχ усτанοвκя ячееκ, я связаτь οτρажающий элеменτ с πρяс- ποсοбленяем для егο πеρемещеняя в наπρавленяя πο меньшей меρе οднοй яз τρеχ κοορдянаτныχ οсей.
    [0053] Τаκοе выποлненяе усτροйсτва ποзвοляеτ προязвοдиτь οбρабοτκу наблюдаемοгο οбъеκτа, в τοм чясле τρеχмеρнοгο, οдням яля мнοгямя πяτнами οбρабοτκя, κаждοе яз κοτορыχ мοжеτ ямеτь мянямальнο дοсτижямые для даннοй οπτячесκοй сясτемы ρазмеρы. Пρя эτοм οбесπечяваеτся лοκальная высο— κοселеκτявная οбρабοτκа неποдвяжнοгο οбъеκτа.
    [0054] Β неκοτορыχ случаяχ неοбχοдямο πеρед οτρажающям эле- менτοм ρасποлагаτь дοποлняτельные οπτячесκяе элеменτы. а οτρажающий элеменτ выποлняτь в виде сφеρичесκοгο зеρκала с ценτροм κρивязны в ценτρе выχοднοгο зρачκа φοκусиρую- щей οлτячесκοй. сясτемы.
    [0055] Βведеняе дοποлниτельныχ οπτячесκяχ элеменτοа ρасπш-
    [0056] ΟΜΡΙ
    [0057] ^
    [0058] - 8 -
    [0059] ρяеτ τеχнοлοгячесκяе вοзмοжнοсτя усτροйсτва.
    [0060] Желаτельнο οτρажающяй элеменτ снабжаτь πρясποсοбл няем ддя οгρаняченяя ρазмеροв егο οτρажающей ποвеρχнοсτ я выποлняτь егο πеρемещаемым в ллοсκοсτя егο усτанοвκя ямеющям πο κρайней меρе οднο οτвеρсτяе, у κοτοροгο вοзм нο язменяτь лябο πлοщадь, лябο φορму.
    [0061] Βοзмοжнο усτροйсτвο снабжаτь даτчяκοм πлοτнοсτя мο нοсτя язлученяя я связанным с ням πρясποсοбленяем дляя мененяя πлοщади иля φορмы οτвеρсτяя. Τаκοе выποлненяе усτροйсτва лοзвοляеτ προязвοдяτь высοκοπροязвοдиτельную οбρабοτκу οбъеκτοв ποследοваτель нο πο всему ποлю зρеняя с заданяοй инτенсявнοсτью в πяτ οбρабοτκя προязвοльнοй φορмы я πлοщадя.
    [0062] Β неκοτορыχ ваρяанτаχ вылοлненяя усτροйсτва целесο οбρазнο между свеρχязлучающей лазеρнοй сρедοй я ρегясτρ ρующей сρедοй ρасποлагаτь дοποлняτельный свеτοделяτельн элеменτ я на наπρавленяя ρасπροсτρанения ποлученнοгο с ποмοщью дοлοлняτельнοгο свеτοвοгο πучκа ρазмещаτь свеτο φяльτρ, οπτячесκйи* заτвορ я οτρажаτель, φορмиρующий π меньшей.меρе οдин ρеπеρныи знаκ, наπρямеρ,в виде κρуглο πяτна ποвышеннοй яρκοсτя на οбъеκτе я на эκρане наблюде ния, πρя эτοм οτρажаτель целесοοбρазнο снабжаτь οτсчеτн πρясποсοбленяямя я элеменτамя πеρемещения егο в наπρавл няя οднοй яз κοορдинаτныχ οсеи в шιοсκοсτя,- сοлρяженнοй ллοсκοсτью ρасποлοженяя οбъеκτа.
    [0063] Βοзмοжнο τаκже πеρед οτρажаτелем, φορмиρующям ρеπе ный знаκ ποмещаτь диаφρагму» снабженную οτечеτными πρя ποсοбленяями я элеменτами .πеρемещеняя ее πο κρайней меρ в налρавления οднοй яз κοορдянаτныχ οοей» Βведеняе дοποлниτельныχ οπτячесκяχ элеменτοв ποзвο ляеτ οднοвρеменнο. сοбρабοτκοй я наблюденнем προязвοдиτь -τοчные измеρения οбъеκτа яля егο часτей^
    [0064] Βοзмοжнο в усτροйсτве в οдин яз οπτячесκяχ κаналοв, на κοτορые деляτ свеτοвοй πучοκ свеτοделяτельный элемен ввοдиτь дοποлняτельный свеτοделяτельный элеменτ,. в свοю οчеρедь в-οдин яз οлτячесκяχ κаналοв, на κοτορые деляτ с τοвοй πучοκ дοποлниτельный свеτοделяτельный элеменτ, ввο - 9 -
    [0065] диτь. еще οдин свеτοдедиτельный элеменτ, а πο χοду οбρа- . зοванныχ свеτοделиτельныχ κаналοв ρасποлагаτь,. πο οднοму в κаждοм яз κаналοв, сοοτвеτсτвеннο,. ρегясτρяρующее πρя- сποсοбленяе,. οτρажающий элеменτ, οτρажаτель, φορмиρующий 5 ρеπеρныи знаκ, я οτρажаτель. ддя ποдсвеτκя οбъеκτа πο все- му ποлю зρеняя»
    [0066] Пοследοваτельнοе ρазделеняе οднοгο яз οπτячесκяχ.κа— налοв ρасπшρяеτ φунκцяοнальные вοзмοжнοсτя усτροйсτва.
    [0067] Βοзмοжнο свеτοделяτельный элеменτ выποлняτь в виде 1.0 κляна.
    [0068] Βыποлненяе свеτοделяτельнοгο элеменτа в вяде κляна ποзвοляеτ усτρаниτь вοзмοжные οτρажения*οτ вτοροй гρаня свеτοделяτельнοгο элеменτа, τем самым ποвысяτь τοчнοсτь οбρабοτκя οбъеκτа. 15 Β неκοτορыχ ваρяанτаχ усτροйсτва πρедποчτяτельнο πеρед ρегясτρяρующей сρедοй усτанавливаτь дοποлняτельные οπτичесκие элеменτы.
    [0069] Ρаслοлοженяе πеρед ρегясτρиρующей сρедοй дοποлниτель— ныχ οπτячесκиχ элеменτοв ποзвοляеτ ρегуляροваτь увеляче— 20 няе сясτемы я οсвещеннοсτь ρегясτρяρующей сρеды.
    [0070] Целесοοбρазнο, чτοбы в усτροйсτве свеρχизлучающая лазеρная сρеда πρедсτавляла сοбοй ρазρядный κанал с τеπ— лοязοляρующим элеменτοм, усτанοвленным с ποмοщью элемен- τοв κρеπления внуτρя. ваκуумнο-πлοτнοй οбοлοчκя,. а τеπлο— 25 изοляρующий элеменτ, выποлненный в виде зеρен τугοπлавκο- гο ποροшκа с малым κοэφφяцяенτοм τеπлοπροвοднοсτя, ρас- ποлагаτь между "сτенκамя ваκуумнο-πлοτнοй οбοлοчκя, ρаз— ρядным κаналοм я элеменτами κρеπленяя, лρячем ρазρядный κанал целесοοбρазнο усτанавляваτь в элеменτаχ κρеπленяя 30 ποдвижнο, с зазοροм, меныπям .χаρаκτеρисτячесιшχ ρазмеροв зеρен уκазаннοгο лοροшκа»
    [0071] Β τаκοм ваρианτе выποлненяя усτροйсτва в неκοτορыχ случаяχ целесοοбρазнο, чτοбы элеменτы κρеπленяя ρазρяд- нοгο κанала οднοвρеменнο служяля элеκτροдами для ποдвοда 35 энеρгяя вοзбуждения κ свеρχизлучающей лазеρнοй сρеде.. Τаκοе выποлнение κοнсτρуκции свеρχизлуч-ающей лазеρ- нοй сρеды οбеслечяваеτ πρя невысοκοй сτοямοсτя высοκую
    [0072] 'ЪУΤ ΕΑΪГ
    [0073] ΟΜΡΙ - 10 -
    [0074] надежнοсτь и дοлгοвечнοсτь усτροйсτва.
    [0075] Κρаτκοе οπясаняе чеρτежей
    [0076] Β дальнейшем οπисаняе ποясняеτся πρямеρамя выποлне няя сο ссылκамя на πρилагаемые чеρτежя, на κοτορыχ: φяг..1 язοбρажаеτ блοκ-сχему усτροйсτва для οсущесτ вленяя сποсοба οбρабοτκя,. ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκ τοв» φяг..2 - блοκ-сχему усτροйсτва для οсущесτвленяя сπ сοба οбρаόοτκя, ρегясτρация я наблюденяя πлοχοοτρажающяχ οбъеκτοв;. φ ^ 3 - блοκ-сχему усτροйсτва для οсущесτвленяя сπ сοба οбρабοτκя, ρегясτρации и наблюденяя οбъеκτοв с миня мальным чяслοм элеменτοв- φяг. 4 - блοκ-сχему мοдиφяциροваннοгο усτροйсτва дл οсущесτвленяя сποсοба οбρабοτκя, ρегясτρацяя я наблюденя οбъеκτοв;,
    [0077] -φяг. 5- блοκ-сχему усτροйсτва ддя οбρабοτκя πο все му ποлю зρеняя^ * φиг..6 - блοκ-сχему усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегяс τρация я наблюденяя οбъеκτοв, οбеслечивающегο вοзмοжнοсτ лροведеняя τοчныχ- язмеρеяяйπρя ποмοщи ρеπеρнοгο знаκа;- φяг. 7 - блοκ-сχему усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегяс τρацяя я наблюденяя οбъеκτοв,. οбесπечивающегο вοзмοжнοсτ προведеняя τοчныχ язмеρеняй лρя ποмοщя вязяρнοгο лρяслο- сοбленяя;. φяг. 8 - мοдяφяцяροванную блοκ-сχему усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегясτρация я наблюденяя οбъеκτοв, οбесπечива ющегο οднοвρеменнο вοзмοжнοсτь τοчныχ язмеρений οбъеκτа я ποдсвеτκу всегο ποля зρения; φяг. * 9 - κοнсτρуκτявную сχему свеρχизлучающей лазеρ нοй сρеды- - •
    [0078] Пρедποчτиτельные ваρяанτы οсущесτвленяя язοбρеτеняя
    [0079] Пρя οπясания язοбρеτеняя будуτ заτροнуτы следующие егο οснοвные аслеκτы:
    [0080] I. Сποсοб οбρабοτκя, ρегисτρация и наблюденяя οбъ-
    [0081] *БϋΚΕ ΟΜΡΙ - II -
    [0082] еκτοв οднοвρеменнο πρя ποмοщя οднοй свеρχизлучающей. ла- зеρнοй сρеды-
    [0083] 2. Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегисτρации я наблюде- няя οбъеκτοв πρя ποмοщи οднοй свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды без дοлοлняτельныχ энеρгοзаτρаτ.
    [0084] 3* Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегясτρацяи я наблюде- ния οбъеκτοв, οбеслечивающее лοκальную, высοκοселеκτявную οбρабοτκу οбъеκτοв.
    [0085] 4. Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегясτρация-я наблюде-. няя οбъеκτοв, οбесπечивающее дοποлняτельнοе лοвышеняе яρ- κοсτя-*
    [0086] 5. Усτροйсτвο для οбρабοτκя,. ρегясτρацяя я наблюде- няя οбъеκτοв, οбесπечявающее вοзмοжнοсτь τοчныχ язмеρеняй οбъеκτа. 6. Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегясτρация я наблюде- няя οбъеκτοв, κοнсτρуκция свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды κοτοροгο имееτ высοκую надежнοсτь я дοлгοвечнοсτь.
    [0087] Сущнοсτь сποсοба οбρабοτκя, ρегясτρация я наблκще- няя οбъеκτοв с лοмοщью свеρχязлучающей лазеρнοй сρеды бу- деτ ποдροбнο ρассмοτρена намя на πρимеρаχ ρабοτы усτροй- сτвν
    [0088] Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегясτρацяя и наблюденяя οбъеκτοв, сοгласнο насτοящему язοбρеτеняю, сοдеρжяτ свеρχ- язлучающую лазеρную сρеду I / φиг. I /, с οднοй сτοροны, οτ κοτοροй усτанοвлены φοκусяρующая οπτячесκая сясτема 2 я οбъеκτ 3, а с дρугοй сτοροны οτ свеρχязлучающей лазеρ- нοй сρеды I усτанοвлены свеτοделиτельный элеменτ 4 я οτ- ρажающий элеменτ 5. с οπτячесκям заτвοροм 6. Β πлοсκοсτя П сοπρяженнοй с πлοсκοсτью П^, в κοτοροй ρасποлοжен οбъеκτ 3, усτанοвлена ρегисτρиρующая сρеда 7, наπρямеρ эκρан для визуальнοгο наблюдения. Οбρабοτκа,. ρегясτρацяя я наблюденяβ οбъеκτа 3 οсущесτвляеτся с ποмοщью свеρχяз- лучающей лазеρнοй сρеды I, πρедποчτяτельнο с οднοροдными οπτячесκями свοйсτвами я бοльшοй аπеρτуροй. Ηаπρимеρ,- свеρχизлучающая лазеρная сρеда I мοжеτ быτь газορазρяднοй πлазмοй в πаρаχ меди, зοлοτа, баρия, свинца, в азοτе я дρ. Ρассмοτρям ρабοτу усτροйсτва.
    [0089] "вυаΕϊГ
    [0090] ΟΜΡΙ - 12 -
    [0091] Βοзбуждение свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды I οсу щесτвляеτся οбычным слοсοбοм,. πρеимущесτвеннο πρй ποмο- щи. τяρаτροннοгο генеρаτορа- Βыχοдящяй яз уκазаннοй свеρ язлучающей лазеρнοй сρеды I в сτοροну οбъеκτа 3 свеτοвο 5. πучοκ наπρавляюτ чеρез φοκусяρующую οπτячесκую сясτему на οбъеκτ 3 / следуеτ οτмеτяτь, чτο οднοвρеменнο свеτο— вοй πучοκ выχοдиτ я в сτοροну ρегисτρяρующей сρеды 7 /..
    [0092] Οτρаженный οбъеκτοм 3 свеτοвοй πучοκ с ποмοщью φοκ сяρующей οπτячесκοй сясτемы 2 вοзвρащаюτ в свеρχязлучаю
    [0093] 10 щую лазеρ'ную сρеду I, где οн усяляваеτся я заτем ποπада еτ на свеτοделяτельный элеменτ 4, κοτορый ρасщеπляеτ ег на две часτя, яз κοτορыχ οдна наπρавляеτся на ρегясτρяρ ющую сρеду 7, πρеямущесτвеннο для ποлученяя усяленнοгο яρκοсτя я увеляченнοгο язοбρаженяя οбъеκτа 3, а дρугая
    [0094] 15 часτь егο ποπадаеτ на οτρажающий элеменτ 5, κοτορый вοз вρащаеτ πο меныπей меρе часτь ποладающегο на негο свеτο вοгο πучκа οбρаτнο в свеρχизлучающую лазеρную сρеду I далее чеρез φοκусяρующую οπτячесκую сисτему 2 κ οбъеκτу 3..
    [0095] 20 Ρасποлοженные на οднοй οлτячесκοй οся οбъеκτа 3 φ κусиρующая οπτячесκая сясτема 2, свеρχизлучающая лазеρн сρеда I, свеτοделяτельный элеменτ 4 я ρегясτρяρующая сρ да 7 οбρазуюτ κанал наблюденяя.
    [0096] Сοοτвеτсτвеннο,, ρасποлοженные на οднοй οπτячесκοй
    [0097] 25 οся οбъеκτ 3, φοκусяρующая οπτячесκая сисτема 2, свеρχ язлучающая лазеρная сρеда I, свеτοделиτельный элеменτ 4 я οτρажающий элеменτ 5 с οπτичесκям заτвοροм 6 οбρазуюτ κанал οбρабοτκя.
    [0098] Εсля ρассτοяняе между οτρажающям элеменτοм 5 я οбъ
    [0099] 30 еκτοм 3 τаκοвο, чτο вοзвρащаемая κ οбъеκτу 3 часτь све- τοвοгο лучκа лοπадаеτ в свеρχизлучающую лазеρную сρеду в το. вρемя, κοгда в ней еще сущесτвуеτ инвеρсяя населе нοсτей, το эτа часτь свеτοвοгο πучκа лοлучаеτ дοдοлняτе нοе усяленяе я янτенсивнοсτь язлученяя на οбъеκτе 3 су—
    [0100] 3.5. щесτвеннο вοзρасτаеτ. Заτем, οτρаженный οбъеκτοм З. све τοвοй лучοκ снοва лοπадаеτ в свеρχизлучающую лазеρную с ду I, усяляваеτся в неи / есля янвеρсяя населеннοсτей - 13 -
    [0101] еще сущесτвуеτ /, οπяτь ρасщеπляеτся на две часτя, οдна из κοτορыχ ποπадаеτ на ρегясτρяρующую сρеду 7, а дρугая - на οτρажающий элёменτ 5 я τаκ далее дο τеχ πορ, ποκа в свеρχязлучающей лазеρнοй сρеде I сущесτвуеτ инвеρсяя на- селеннοсτей.
    [0102] Β τеченяя эτοгο προцесса янτенсявнοсτь язлучения на οбъеκτе 3 сτанοвиτся насτοльκο высοκοй, чτο προисχοдиτ егο οбρабοτκа. / Пοд οбρабοτκοй следуеτ ποнимаτь шяροκяй κласс вοздейсτвий на οбъеκτ οτ засвеτκя φοτοчувсτвяτель- нοгο маτеρяала дο ясπаρеняя меτалличесκиχ πленοκ я дρ. / Τаκям οбρазοм, в усτροйсτве дοсτягаеτся οднοвρемен- нο οбρабοτκа οбъеκτа 3 я наблюденяе егο на ρегясτρяρующей сρеде 7, наπρямеρ,свеτορассеявающем эκρане, выποлненнοм в вяде жядκοκρясτаллячесκοй- ячейκя, πρя ясдοльзοваняя οд- ΗΩЙ свеρχязлучающей лазеρнοй сρеды I. Пρи эτοм, суммаρная мοщнοсτь свеτοвοгο язлученяя в οбеиχ κаналаχ значяτельнο . πρевышаеτ мοщнοсτь, язлучаемую свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοй I в услοвяяχ, κοгда οτсуτсτвуюτ свеτοделиτельныи я οτρажающяй элеменτы 4 я 5 сοοτвеτсτвеннο,. Το есτь, πο- мямο οчевидныχ πρеямущесτв, связанныχ с вοзмοжнοсτью οд- нοвρеменнοй οбρабοτκя я наблюденяя οбъеκτοв с лοмοщью свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды I, насτοящее язοбρеτеняе οбесπечяваеτ бοлее ρацяοнальнοе яслοльзοваняе энеρгяя, за- τρачяваемοй на вοзбужденяе свеρχизлучающей лазеρнοй сρе- ды I. Οπτичесκяй заτвορ 6, κοτορый мοжеτ быτь усτанοвлен πеρед οτρажающим элеменτοм 5, даеτ вοзмοжнοсτь οсущесτвле- ния προцесса οбρабοτκя в нужный мοменτ вρемени..
    [0103] Легκο видеτь, чτο, οсτаваясь в ρамκаχ насτοящегο ва- ρианτа выποлненяя усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегисτρация и наблюденяя οбъеκτοв, мοжнο лροизвοдяτь οбρабοτκу я наб- людение • ..* на ρазныχ длянаχ вοлн язлученяя свеρχиз- лучающей лазеρнοй сρеды I. Для эτοгο дοсτаτοчнο выποлниτь свеτοделяτельный элеменτ 4./ φиг. 2 /, ρазделяющям язлу- ченяе длян вοлн Л £ я Л * Β κачесτве свеτοделиτельнοгο элеменτа 4 мοжеτ быτь яслοльзοвана любая сисτема, οбесπечявающая эφφеκτявнοе выделение заданныχ длян вοлн яз чясла усиливаемыχ даннοй - 14 -
    [0104] свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοй I, наπρимеρ, сисτемы сο сπеκτρальными πρязмамя, дяφρаκцяοнными ρешеτκамя, янτеρ φеρенцяοнными φяльτρамя я τ.π..
    [0105] Знание οπτячесκяχ χаρаκτеρясτяκ οбъеκτа 3, τρебуем 5 τοчнοсτя οбρабοτκя яля ддяны вοлны для οсущесτвленяя се леκτявнοгο вοздейсτвяя. ποзвοляеτ сφορмяροваτь сπеκτρы язлученяя в κаналаχ οбρабοτκя я наблюденяя τаκям οбρ.азο чτοбы ποлучиτь маκсямальнο дοсτяжямый эφφеκτ οτ вοздейс вяя язлучения на οбъеκτ 3 в πеρвοм я κοмφορτнοе наблюде
    [0106] Ю няе вο вτοροм κанале.
    [0107] Β οπисаннοм усτροйсτве / φяг. I / κанал οбρабοτκя οбρазуеτся за счеτ φορмиροваняя οπτичесκοгο ρезοнаτορа,, οдням из-οτρажаτелей κοτοροгο являеτся οбρабаτываемый οбъеκτ 3, а вτορым - οτρажающий элеменτ 5.
    [0108] 15 Β случае, κοгда οбъеκτ 3 являеτся πлοχοοτρажающям,, дοбροτнοсτь эτοгο ρезοнаτορа. уχудшаеτся я мοщнοсτь в κа нале οбρабοτκя снижаеτся, чτο мοжеτ πρивесτи κ οτсуτсτв οбρабοτκя οбъеκτа.
    [0109] Β связя с эτям усτροйсτвο / φиг. 2 / введен дοποлн
    [0110] 20 τельный οτρажающяй элеменτ 8, οбρазующий с οτρажающим э менτοм 5 нοвый ρезοнаτορ с вывοдοм излучения в сτοροну οбъеκτа 3. Дοποлниτельный οτρажающяй элеменτ 8 связан с πρясποсοбленяем 9. ддя язмененяя οπτячесκяχ χаρаκτеρясτя дοποлняτельнοгο οτρажающегο элеменτа 8..
    [0111] 2.5 в эτοм случае οбρабοτκа οбъеκτа 3 προязвοдяτся за счеτ сοвмесτнοй ρабοτы двуχ οπτичесκяχ ρезοнаτοροв: οбъ еκτ 3 - οτρажающяй. элеменτ 5 я дοποлняτельныи οτρажающи элеменτ 8.- οτρажающий элеменτ 5. Дοля учасτяя ρезοнаτο ροв в προцессе οбρабοτκя зависяτ οτ οπτичесκиχ χаρаκτеρ
    [0112] 30 сτяκ. οбъеκτа 3 и дοποлняτельнοгο οτρажающегο элеменτа 8 κοэφφяцяенτ οτρаженяя κοτοροгο выбяρаеτся яз услοвяя же лаемοгο суммаρнοгο вοздейсτвяя на οбъеκτ 3 οбοяχ ρезοна τοροв.
    [0113] Ηе выχοдя за ρамκя насτοящегο ваρяанτа выποлненяя 5 усτροйсτва, дοποлниτельный οτρажающий элеменτ 8 мοжнο выποлняτь с заданным προπусκанием для язлученяя с ддянο вοлны Лχ , я προзρачным для язлученяя с ддинοй вοлны - 15 -
    [0114] /- , πρичем язлучение с длинοй вοлны ι ρасπροсτρаня- еτся в κанале οбρабοτκи, а с Λ - - в κанале наблюденяя. Пρя эτοм свеτοделяτельный элеменτ 4 был выποлнен в вяде зеρκала, προπусκающегο язлученяе с ддянοй вοлны β и 5 οτρажающегο с дашнοй вοлны Л - .* Βοзмοжны дρугяе ваρя— анτы выποлненяя свеτοделяτельнοгο. элеменτа 4 без язмене— няя сущесτва προисχοдящяχ πρя эτοм явлений*.
    [0115] Свеτοделяτельный элеменτ 4 мοжеτ быτь выποлнен в вя- де ποлуπροзρачнοй πлοсκοπаρаллельнοй πласτяны,.* κлянοвяд—
    [0116] Ю нοй лласτяны, свеτοделяτельнοгο. κубяκа„ πρязмы,, ποляρя— зацяοннοг.ο усτροйсτва я τ.д-
    [0117] Следующяй ваρяанτ вылοлненяя усτροйсτва / φяг.,..3 , πο насτοящему язοбρеτеняю,. οτнοсяτся κ случаю, κοгда све- τοделяτельный элеменτ 4 усτанοвлен на οπτячесκοй οси τа-
    [0118] 15 κим οбρазοм,, чτο οτρаженный-οτ негο свеτοвοй πучοκ ποπа— даеτ на οбъеκτ 3, τ.е. свеτοделяτельный элеменτ-4 выποл— няеτ τаκже я φунκцяю οτρажающегο элеменτа,. а προшедшяй чеρез негο свеτοвοй -πучοκ налρавляеτся на-ρегисτρяρующую сρеду 7. Β эτοм сдучае οπτячесκий ρезοнаτορ, οбеслечява—
    [0119] 20 ющий οбρабοτκу οбъеκτа 3, οбρазοван самим οбρабаτываемым οбъеκτοм 3 и свеτοделяτельным элеменτοм 4*..
    [0120] Β дальнейшем πρя οгшсаняи ваρяанτοв'οсущесτвленяя язοбρеτеняя будем ρассмаτρяваτь случай ρасщеπденяя свеτο- вοгο πучκа πο' нτенсявнοсτя, ямея в вяду, οднаκο, чτο все.
    [0121] 25 нижесκазаннοе в ποлнοй меρе οτнοсяτся, налρямеρ, κ ρасщел- леняю лο длинам вοлн яли любым дρугям сποсοбам.
    [0122] Οдням яз вοзмοжныχ взаямныχ ρаслοлοжений οбъеκτа 3, φοκусяρующей οπτячесκοй сисτемы 2, свеρχизлучающей лазеρ- нοй сρеды Σ я οτρажающегο элеменτа 5 в ρамκаχ. насτοящегο
    [0123] 30 ваρяанτа усτροйсτва заκлючаеτся в τοм, чτο οτρажающий эле- менτ 5 / φиг... I / усτанοвлен в ллοсκοсτи П-г, οπτичесκя сο- πρяженнοй с πлοсκοсτью ϊ ρасποлοженяя οбъеκτа 3. Τаκ κаκ измененяе взаямнοгο ρасποлοжения уκазанныχ элеменτοв ус- τροйсτва, πο насτοящему язοбρеτению,- не* заτρагяваеτ су— 5 щесτва φязячесκяχ προцессοв, το для προсτοτы в'дальней— шем будеτ ρассмаτρяваτься случай, κοгда οτρажающий элег- менτ 5 усτанοвден в πлοсκοсτя, οлτячесκя сοπρяженнοй с - 16 -
    [0124] πлοсκοсτью ρасποлοжения οбъеκτа, χοτя οчевиднο, чτο все ρезульτаτы легκο леρенοсяτся на дρугие случаи взаямнοгο ρаслοлοженяя уκазанныχ элеменτοв..
    [0125] Пοвышение τοчнοсτя я κачесτва οбρабοτκя, лοлученяе 5 минямальнοгο ддя даннοй φοκусяρующей οπτичесκοй сисτемы ρазмеρа свеτοвοгο πяτна οбρабοτκя дοсτягаеτся в οлясан- ныχ ρанее усτροйсτваχ, если οτρажающий элеменτ 5 / наπρя меρ φяг. I / вылοлнен τаκям οбρазοм, чτο ρазмеρы егο οτ- ρажающей ποвеρχнοсτя не πρевышаля ρазмеροв ляτна ρассея-
    [0126] Ю ния φοκусяρующей οπτячесκοй сясτемы 2 в πлοсκοсτя, οπτи- чесκя сοπρяженнοй с πлοсκοсτью ρасποлοжения οбъеκτа 3.. Уменьшеняе ρазмеροв οτρажающегο элеменτа дο уκазанны вы ρазмеροв ποзвοляеτ, в πρянцяπе, дοвесτя ρазмеρ πяτна οбρ бοτκи дο дяφρаκцяοннοгο πρедела ддя даннοй φοκусяρующей
    [0127] 1.5 οπτячесκοй сисτемы 2. Τаκ, лρя ясποльзοваня , в ρамκаχ н сτοящегο изοбρеτеняя, свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды I н лаρаχ меди, мяκροοбъеκτяза с увеличеняем в 8х ο диφρаκци οннοй ρазρешающей сποсοбнοсτью 1,3 мκм я κοнчяκа οбычнοй швейнοй яглы в κачесτве οτρажающегο элеменτа 5 былο ποлу
    [0128] 20 ченο πяτнο οбρабοτκя ^1,5 мκм на πленκе алюминия в κаче τве οбъеκτа.,
    [0129] Ддя οбесπеченяя вοзмοжнοсτи выποлнения ρяда τеχнοлο гячесκяχ задач, τρебующиχ высοκοй селеκτявнοсτи οбρабοτκ οбъеκτοв иля егο часτей, был ρеалязοван ваρяанτ усτροисτ 5 ва, являющийся πο сущесτву мοдиφяκацией усτροйсτва для ο ρабοτκи οбъеκτοв πяτнοм небοльπшχ ρазмеροв. Εлοκ-сχема τ κοгο мοдиφяцяροваннοгο усτροйсτва лρяведена на φяг. 4.
    [0130] Свеρχизлучающая лазеρная сρеда I, φοκусяρующая οπτя чесκая сясτема 2, οбъеκτ 3, свеτοдаляτельныи элеменτ 4, 0 οτρажающий элеменτ 5 с οπτячесκям заτвοροм аналοгячны' οπ санным выше усτροйсτвам, πρяведенным на φяг.. I и φяг. 2.. Οднаκο, в κанале οбρабοτκя, между свеτοделиτельным элеменτοм 4 / φяг..4 / я οπτячесκям заτ^οροм 6. усτанοвле нο πρяслοсοбленяе.10 ддя ллавнοй ρегуляροвκи янτенсявнοс 5- τя свеτοвοгο πучκа,πρедсτавляющее сοбοй, наπρямеρ, ποдвя ны .οлτичесκий κлин яз неиτρальнο-сеροгο сτеκла* Усτροй- сτвο с τаκим лρясποсοбленяем 10. ρеалязуеτ сποсοб οбρабοτ - 17 -
    [0131] κя шиροκο ρаслροсτρаненнοгο в сοвρеменнοй мяκροэлеκτροни^ κе сοчеτания маτеρиалοв, πρедсτавляющегο сοбοй χοροшο οτ— ρажащую шιенκу, нанесенную на ποдлοжκу с меныпим κοэφφя- цяенτοм οτρаженяя / меτалл на сτеκле, κваρце я κеρамиκе меτалл на $£ 02, меτалл на £1 ». меτалл на Л ^-- я τ.π. /. Пρя οбρабοτκе τаκиχ πленοκ τρебуеτся οбесπечиτь минималь- нοе вοздейсτвие язлученяя на дοдлοжκу..
    [0132] Β насτοящем усτροйсτве ρешеняе τаκοй задачя дοсτяга- еτся πуτем усτанοвденяя πρя ποмοщи πρясποсοбленяя для πлавнοй ρегулиροвκя янτенсявнοсτя свеτοвοгο лучκа τаκοгο уροвня янτенсивнοсτи свеτοвοгο πучκа, κοτορый ниже-, чем τρебуеτся для οбρабοτκя ποдποжκя. Заτем, πуτем πеρемеще- няя οбъеκτа 3 οτнοсяτельнο φοκусяρующей οπτячееκοй сясτе- мы 2 ποд πяτнο οбρабοτκя ποдвοдяτ ποдлежащую οбρабοτκе* χοροшο οτρажающую πленκу. Инτенсявнοсτь свеτοвοгο.πучκа авτοмаτячесκя вοзρасτаеτ благοдаρя ποвышеняю дοбροτнοсτи ρезοнаτορа дο величяны,. дοсτаτοчнοй для οбρабοτκя эτοй πленκи и авτοмаτичесκя уменыпиτся дο πρежней, недοсτаτοч- нοи для οбρабότκя ποдлοжκя, велячины, κаκ τοльκο χοροшο οτρажающая лленκа будеτ удалена язлученяем.
    [0133] Пροцесс выбορа ρежяма οбρабοτκя мοжнο авτοмаτязиρο- ваτь, есля в οπисываемοе усτροйсτвο ввесτя сρедсτвο II для οπρеделеняя ποροга ρазρушеняя οбъеκτа 3 и чеρез яс- ποлняτельный меχанязм 12. сοедяняτь егο с πρясποсοбленяем 10. Сρедсτвο II для οπρеделеняя ποροга ρазρушеняя οбъеκ- τа 3 πρедсτавляеτ сοбοй, наπρямеρ, φοτοπρяемняκ^ сοединен-^, ный сο сτандаρτным исποлниτельным меχанизмοм 12,. πеρемеща- ющим πρясποсοбленяе 10 в сοοτвеτсτвяя с сягналοм φοτοπρя- емняκа. Μοгуτ быτь яслοльзοванн дρугие сρедсτва я лρясπο- сοбления, ρешающие задачу авτοмаτичесκοгο ρегулиροваняя инτенсивнοсτя свеτοвοгο πучκа в ρамκаχ насτοящегο язοб- ρеτеняя..
    [0134] Β ρамκаχ насτοящегο ваρианτа выποлненяя усτροйсτва был ρеалязοван οτρажающяй элеменτ 5, πρедсτавляющий сο- бοй набορ οτдельныχ οτρажающиχ ячееκ, ρаслοлοженныχ в лρеделаχ лοля зρеняя φοκусяρующей οπτячесκοй сисτемы 2 в месτаχ, οлτячесκя сοπρяженныχ с сοοτвеτсτвующями учасτ-
    [0135] "вυκЁΑϊ
    [0136] ΟΜΡΙ - 18 -
    [0137] κамя οбъеκτа 3. Β эτοм случае дοсτигаеτся не τοльκο ποв шение сκοροсτи οбρабοτκя за счеτ ясποльзοваняя набορа π τен οбρабοτκя, нο я вαзмοжнοсτь οбρабοτκя учасτκοв οбъе τа 3 в ρазныχ πлοсκοсτяχ, τ.е. οбъемныχ οбъеκτοв.. Ηаялу 5 шяе πο τοчнοсτя я κачесτву οбρабοτκя ρезульτаτы ποлучен κаκ я в ρанее ρассмοτρенныχ ваρяанτаχ, в случае, κοгда маκсямальные ποπеρечные ρазмеρы κаждοй ячейκя не лρевыш юτ ρазмеροв πяτна ρассеяния даннοй φοκусяρующей οπτячес κοй сисτемы в πлοсκοсτяχ, сοπρяженныχ с сοοτвеτсτвующим
    [0138] 10 πлοсκοсτями учасτκοв οбъеκτа.
    [0139] Βο всеχ ρанее οπисанныχ я πρедсτавленныχ на φяг. I 2, 4 ваρяанτаχ усτροйсτва οτρажающий элеменτ 5 мοжеτ бы связан с πρисποсοблением для егο леρемещеняя в налρавле няи лο меныηей меρе οднοй из τρеχ κοορдинаτныχ οсей. Ηа
    [0140] 15 личие τаκοгο πρисποсοбления 13 ποзвοляеτ οсущесτвиτь сπ сοб οбρабοτκи неποдвижнοгο, οτнοсиτельнο φοκусяρующей ο τичесκοй сисτемы 2, οбъеκτа 3 в πρеделаχ ποля зρения уκ заннοй φοκусиρующей οπτичесκοй сясτемы 2, πρя ποмοщя οг ρаняченнοгο πο ρазмеρу πяτна свеτοвοгο язлученяя.*
    [0141] 20 Пρя эτοм дοсτягаеτся οчень высοκая τοчнοατь οбρабο κя в связя с τем, чτο масшτаб πеρемещеняя οτρажающегο э менτа 5 προлορцяοнален увеличеняю φοκусяρующеи οπτичесκ сясτемы Ζ*г
    [0142] Κροме τοгο, πеρед οτρажающям элеменτοм 5 мοгуτ быτ
    [0143] 25 усτанοвлены дοποлняτельные οπτячесκяе элеменτы 14. Β οд случае дοποлняτельные σπτячесκяе элеменτы 14 οбρазуюτ ο еκτяв с πеρеменным φοκусным ρассτοянием, чτο ποзвοляеτ πлавнο ρегуляροваτь ρазмеρ πяτна οбρабοτκя. Β дρугοм οл дσποлняτельные οπτячесκяе элеменτы 14 πρедсτавляюτ сοбο
    [0144] 30 свеτοφяльτρы. Ηаличие τаκиχ свеτοφильτροв ποзвοляеτ οсу τвляτь дοποлниτельную ρегулиροвκу инτенсивнοсτи излучени на οбъеκτе 3.
    [0145] Εще οдин ваρианτ οсущесτвленяя сποςοба οбρабοτκи, ρ гясτρацяя и наблюдения οбъеκτοв πο насτοящему изοбρеτеня
    [0146] 3.5 οτнοсяτся κ случаю, κοгда сοοτвеτсτвующяй выбορ φορмы я месτοнаχοжденяя οτρажающегο элеменτа ποзвοляеτ οсущесτв- ляτь οбρабοτκу яля ποдсвеτκу всегο ποля зρения.
    [0147] ΟΜ - 9' -
    [0148] Усτροйсτвο для οбρабοτκя, ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκτοв,. сοгласнο насτοящему изοбρеτеняю, еοдеρжяτ, κаκ я в дρедыдущиχ ваρяанτаχ,. свеρχязлучающую лазеρную сρеду . I / φиг. 5 /, φοκусяρующую οπτячесκую сясτему 2,. οбъеκτ 5 з, свеτοделиτельный элеменτ 4 я οτρажающий элеменτ 5 с οπτячесκям заτвοροм 6« Οднаκο οτρажающий элеменτ 5, ρас- ποлοженный в πлο.сκοсτя, сοдρяженнοϊ с οбъеκτοм,. πρедсτав- ляеτ сοбοй сφеρячесκοе зеρκалο δ'с ценτροм κρявязны в цен.- τρе выχοднοгο зρачκа φοκусяρующей οπτячесκοй сясτемы 2. .
    [0149] 10 Κаκ и в ρанее ρассмοτρенныχ ваρяанτаχ вылοлнения усτροй- сτва,. выχοдящий из уκазаннοй свеρχизлучающей лазеρнοй сρе- ды I в сτοροну οбъеκτа 3 свеτοвοй лучοκ налρавляюτ дρи. лοмοщи φοκусиρующей οπτячесκοй сясτемы 2 на οбъеκτ 3..0т- ρаженный и ρассеяшшй οбъеκτοм 3 свеτοвοй πучοκ с ποмοщью
    [0150] Г5 φοκусиρующей οπτичесκοй сясτемы 2 нацρавляюτ в τу же свеρχизлучающую лазеρную сρеду I, где οн усиливаеτся я за- τем ποπадаеτ на свеτοделяτельный элеменτ 4, κοτορый ρасще— πляеτ егο на две часτи, οдна яз κοτορыχ ποладаеτ на ρегяс- τρяρующую сρеду 7, а дρугая - вοзвρащаеτся .οбρаτнο в свеρχ-
    [0151] 20 язлучающую лазеρную сρеду .1 я ποсле усяленяя в ней φοκуся- ρуеτся φοκусяρующей οπτячесκοй сясτемοй 2 на οбъеκτ 3.
    [0152] Ηе выχοдя за ρамκя насτοящегο ваρяанτа усτροйсτва, мοжнο снабдиτь / φиг. 5 / οτρажающий элеменτ 5 πρясποсοб— лением 15 ддя οгρанячения ρазмеροв егο οτρажающей ποвеρχ-
    [0153] 25. нοсτи, наπρимеρ, диаφρагмοй в виде οτвеρсτяя яля щеля.
    [0154] Зτο даеτ вοзмοжнοсτь лοκальнο ποвышаτь яяτенсявнοсτь язлученяя в любοй οбласτя ποля зρеняя φοκусяρующей οπτи- чесκοй. сисτемы 2.,. τаκ κаκ πρи οгρанячении ρазмеροв οτρа— жающей ποвеρχнοсτя οτρажающегο .элеменга 5 в ллοсκοсτи егο
    [0155] 30 усτанοвκя, сοοτвеτсτвеннο уменьшаеτся и πлοщадь πяτна οб- ρабοτκи в сοπρяженнοй с ней πлοсκοсτи οбъеκτа 3, а οбъем свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды I, учасτвующей в усиления, уменьшаеτся в значяτельнο меньшей сτеπени, πο сρавненяю с уменьшеняем πлοщади οбρабοτκи я благοдаρя эτοму* на едяня- 5 цу πлοщади οбρабοτκя πρяχοдяτся бοлыπяй οбъем свеρχизлуча— ющей лазеρнοй сρеды I, чем дο οгρаниченяя ρазмеροв οτρажа- ющей ποвеρχнοсτи οτρажающегο элеменτа 5. - 20 -
    [0156] Κροме τοгο, в усτροйсτве на φиг. 5, πρисποсοбление 15 ддя οгρаничения ρазмеροв οτρажающегο элеменτа вылοл ненο сκаниρующим в πлοсκοсτи егο усτанοвκи я ямееτ πο меньшей меρе οднο οτвеρсτяе ; πρясποсοбленяе 15 выποлнен 5 ддя οбесπеченяя язмененяя ллοщади и φορмы οτвеρсτия, κρ ме τοгο усτροйсτвο снабженο даτчяκοм 16 инτенсявнοсτи и лучения и связанным с ням, надρямеρ, элеκτρячесκи .меχан змοм 17 изменения ллοщади οτвеρсτия. Даτчиκ 16 янτенсив нοсτя язлученяя мοжеτ πρедсτавляτь сοбοй φοτοπρяемниκ,
    [0157] 10 меχанязм 17 ямееτ две взаямнο πеρлендиκуляρные щели, ρе гулиρуемые сигналοм οτ φοτοπρяемняκа.
    [0158] Φοκусяρующая οπτячесκая сясτема 2. сτροяτ язοбρажен дяаφρагмы на ποвеρχнοсτя οбъеκτа 3, ποэτοму неοбχοдимую φορму πяτна οбρабοτκя мοжнο ποлучяτь заданяем φορмы οτ-
    [0159] 15. веρсτия дяаφρагмы. Пρя неοбχοдимοсτи οбρабοτκя οбъеκτа πο всему ποлю зρеняя свеτοвым ляτнοм лοвышеннοй янτенся нοсτя дяаφρагму πеρемещаюτ в ллοсκοсτи ее усτанόвκя. Пρ эτοм целесοοбρазнο πρядаτь πяτну οбρабοτκя / τ.е. οτвеρ сτяю диаφρагмы / φορму πρямοугοльниκа, πρеимущесτвеннο
    [0160] 20 узκοгο, τяπа-ποлοсы. йсποльзοвание ποлοсы лοзвοляеτ лρο вοдяτь οбρабοτκу οбъеκτа 3 в πρеделаχ значяτельнοй часτ ποля зρеняя за οднορазοвοе πеρемещение дяаφρагмы в нацρ вленяи, πρеямущесτвеннο πеρπендяκуляρнοм дляннοй сτοροн πρямοугοльниκа.
    [0161] 2.5 Диаφρагма мοжеτ имеτь не οднο, а несκοльκο οτвеρсτ πρя эτοм янτенсявнοсτь язлученяя завясяτ οτ суммаρнοй я ллοщади.
    [0162] Ηалячяе даτчяκа 16 янτенсявнοсτя язлучения на οбъе τе 3 и меχанязма 17 язмененяя πлοщади πяτна οбρабοτκя д
    [0163] 30 звοляеτ ρешяτь задачу дοддеρжаняя на οбъеκτе 3 янτенсив нοсτя язлученяя, τρебуемοй для заданнοгο вяда οбρабοτκи егο. Ηаπρимеρ, есля τρебуеτся ясπаρяτь часτь οбъеκτа 3 το πρя ποмοщя даτчяκа 16 я меχанязма 17 οднοвρеменнο οл ρеделяеτся ποροг егο ρазρушения я усτанавляваеτся τρебу 5 емая для егο дοсτяжения πлοщадь πяτна οбρабοτκи. Βсе эτ небοлыπие πο οбъему дοбавления, не выχοдящяе за ρамκя н сτοящегο ваρяанτа οсущесτвления язοбρеτения,. лοзвοляюτ - 21. -
    [0164] лучяτь сущесτвенные дοποлняτельные πρеямущесτва:
    [0165] - вοзмοжнοсτь измененяя в πшροκиχ πρеделаχ инτенсив— нοсτи излучения на οбъеκτе, ποзвοляющую οсущесτвляτь ρаз-' лячные виды οбρабοτκи ; - вοзмοжнοсτь ποлученяя самыχ ρазнοοбρазныχ φορм πяτ- на οбρабοτκи заданнοй янτенсявнοсτя
    [0166] - вοзмοжнοсτь высοκοπροязвοдиτельнοй οбρабοτκи οбъ- еκτа в πρеделаχ ποля зρеняя ляτнοм заданнοй инτенсявнοсτя ;
    [0167] - вοзмοжнοсτь ποдцеρжания заданнοй янτенсявнοсτя яз- лученяя на οбъеκτе.
    [0168] Β. ρамκаχ насτοящегο ваρяанτа οсущесτвленяя язοбρеτе- няя между свеτοделяτельным элеменτοм 4 я οτρажающим эле- менτοм 5 мοгуτ быτь усτанοвлены дοποлняτельные οπτичесκяе элеменτы 14, наπρимеρ свеτοφильτρы. . * * - Усτанοвκοйсвеτοφяльτροв мοжнο дοποлняτельнο ρегули- ροваτь янτенсявнοсτь излученяя на οбъеκτе 3.
    [0169] . Ηа φиг. 6- лρедсτавлена блοκ-сχема ваρяанτа οсущесτ- . вления-сποсοба οбρабοτκя., ρегясτρация я наблюденяя .οбъеκ- τа, ποзвοляющегο προязвοдиτьτοчные язмеρения наблюдаемοгο οбъеκτа.
    [0170] Κаκ я в лρедыдущиχ ваρяанτаχ,* усτροйсτвο для οбρабοτ- κя, ρегясτρация я наблюденяя οбъеκτοв сοдеρжяτ свеρχизлу- чающую лазеρную сρеду I, φοκусяρуюшую οπτичесκую сясτему 2, οбъеκτ З, свеτοделиτельный элеменτ 4 я οτρажающиϊ эле— менτ 5 с οπτячесκим заτвοροм 6. Κροме τοгο, дοдοдняτель- ный свеτοφильτρ 18, ρасποлοженный между дοποлниτелышм * свеτοделяτельным элеменτοм .19. я οτρажаτелем 20 с οπτячес- κям заτвοροм 21, сοвмесτнο с ποследним φορмяρуюτ πο мень- шей меρе οдин ρеπеρный знаκ. Дοποлняτельный свеτοφильτρ 18 οслабляеτ янτенсявнοсτь οτρаженнοгο οτρажаτелем 20 све- τа дο τаκοй сτеπени, чτο οна сτанοвяτся няже ποροга ρаз- ρушеняя οбъеκτа 3.
    [0171] Β ρамκаχ насτοящегο ваρяанτа οсущесτвленяя усτροйсτ- ва, сοгласнο язοбρеτению, οτρажаτель 2.0'мοжеτ быτь снаб- жен οτсчеτными. πρяслοсσблениями 22 и элеменτами 23 πеρе- мещения егο πο κρайней меρе в наπρавления οднοй из κοορди- наτныχ οсей в πлοсκοсτи, сοπρяженнοй с πлοсκοсτью ρасποлο- - 22 -
    [0172] жения οбъеκτа 3.
    [0173] Ηаличяе οτρажаτеля 2.0, φορмяρующегο ρеπеρный знаκ, ρасποлοженнοгο в πлοсκοсτи, сοπρяженнοй с πлοсκοсτью οб еκτа, лοзвοляеτ οсущесτвляτь τοчные язмеρеняя οбъеκτа
    [0174] 5 / яли часτя егο / πуτем ποследοваτельнοгο сοвмещеняя ρе πеρнοгο знаκа, наблюдаемοгο на ρегясτρяρующей сρеде 7 с бοлыпям увеляченяем, с "гρаняцами οбъеκτа / или часτи ег я счиτываняе ρезульτаτа с οτсчеτныχ πρисποсοблений, πρя эτοм .ρезульτаτ язмеρеняя πρедсτавляеτ сοбοй "велячину πе
    [0175] 10 ρемещения ρеπеρнοгο знаκа в πлοсκοсτи егο усτанοвκя, де ленную на увеляченяе φοκусяρующей οπτячесκοй сясτемы 2*> Β οднοм яз ваρяанτοв выποлненяя усτροйсτва,, πο насτοяще му язοбρеτеняю, οτρажаτель 20, φορмиρующяй ρедеρный зна был выдοлнен в вяде зеρκала, дяамеτρ κοτοροгο не дρевы
    [0176] 15.' шал ρазмеρа κρужκа ρассеяняя φοκусяρующей οдτячесκοй с сτемы 2 в πлοсκοсτя усτанοвκя οτρажаτеля 20.
    [0177] Ρассмοτρям οсοбеннοсτя ρабοτы насτοящегο ваρяанτа выποлненяя усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегисτρацяя и набл дения οбъеκτοв. Κаκ я в ρанее ρассмοτρенныχ ваρяанτаχ в
    [0178] 20 ποлненяя усτροйсτва, выχοдящий яз свеρχязлучающей лазеρ нοй ορедд I в сτοροну οбъеκτа 3 свеτοвο-й πучοκ наπρавля юτ на οбъеκτ 3 πρя ποмοщя φοκусиρующей οπτичесκοй сясτе мы 2. Заτем οτρаженный я ρассеянный οбъеκτοм 3 свеτοвοй πучοκ вοзвρащаюτ в свеρχизлучающую лазеρную сρеду I, гд
    [0179] 25 οн усяливаеτся, я наπρавляюτ на свеτοделяτельный элемен 4, κοτορый ρасщелляеτ егο на две часτя, οдна яз κοτορыχ . ποπадаеτ на οτρажающий элеменτ 5, οбρазуя τаκям οбρазοм κанад οбρабοτκя, дρугая часτь свеτοвοгο πучκа ποπадаеτ на дοποлняτельный свеτοделяτельный элеменτ 19 я, в свοю
    [0180] 30. οчеρедь, ρасщеπляеτся на две часτи, οдна из κοτορыχ, κа я вο всеχ ρ.анее οдисанныχ ваρианτаχ вылοлнения усτροйсτ наπρавляеτся на ρегисτρиρующую сρеду 7, а дρугοй свеτο- вοй πучοκ - на οτρажаτель 20, с лοмοщью κοτοροгο вοзвρа щаеτся οбρаτнο в свеρχнзлучающую лазеρную сρеду I πο το
    [0181] 35 му же οлτячесκοму πуτя, сοздавая τем самым язοбρаженяе ρеπеρнοгο знаκа на οбъеκτе 3 я ρегясτρяρующей сρеде 7. луτя ρаслροсτρаненяя эτοгο πучκа целесοοбρазнο усτанοви οслабляющяй свеτοφяльτρ 18 для. τοгο, чτοбы уменышаτь яρ - 23 -
    [0182] κοсτь ρеπеρнοгο знаκа дο велячяны, ясκлючающей вοзмοжнοс- τь οбρабοτκя οбъеκτа 3, я οπτячесκяй заτвορ 21, ποзвοля- ющий вκлючаτь я выκлючаτь ρеπеρный знаκ πο меρе неοбχοди- мοсτя. 5. Β οднοм яз ваρяанτοв усτροйсτва πο насτοящему язοб- ρеτеняю οτρажаτель 20 бьш ρазмещен на κοορдинаτнοм сτοли- κе 23, οбесπечивающим πеρемещеняе . егο в πлοсκοсτя, сοπρя-. женнοй с πлοсκοсτью ρасποлοженяя οбъеκτа 3. Пρи эτοм κοορ- динаτный сτοлиκ 23, являющийся элеменτοм πеρемещеняя, был *0 снабжен имπульсным даτчиκοм πеρемещения с дисκρеτнοсτью 10 мκм я πяτяρазρядным яндяκаτοροм сο счеτчяκοм, πρедсτав- ляющим сοбοй οτсчеτнοе πρисποсοбление 22- Диамеτρ зеρκала / οτρажаτель 20 / не πρевышал ρазмеρа πяτна ρассеяния φο- κусяρующей οπτичесκοй сисτемы в πлοсκοсτи егο усτанοвκя,5 чτο οбесπечивалο ποлученяе.ρеπеρнοгο знаκа в виде диφρаκ— циοннοгο изοбρаженяя τοчκи. Τаκοй ρеπеρный знаκ ποзвοляеτ οчень τοчнο навοдиτься на κρай χοροшο οτρажающегο элемен- τа οбъеκτа 3. Увелячение φοκусяρующей οлτичесκοй сясτемы 2 сοсτавляеτ 70х, τ.е. πеρемещеняю οτρажаτеля 20 в πлοс-0 κοсτя егο усτанοвκяна 70 мκм сοοτвеτсτвуеτ πеρемещеняе ρеπеρнοгο знаκа на οбъеκτе 3 на I мκм, на эκρане - на I мм / πρя увеляченяя κанала наблюденяя 1000х/»
    [0183] Β ρамκаχ οлисаннοгο ваρяанτа οсущесτвления слοсοба οбρабοτκи, ρегясτρацяя я наблюдения οбъеκτοв, ποзвοляюще-5 гο προязвοдиτь τοчные измеρения οбъеκτа$бшι ρеализοван ρе- πеρныи знаκ, πρедсτавляющий сοбοй τοнκую προвοлοчκу иля τемную ρясκу на сτеκляннοй πласτине 24 / φяг. 7 /, выποл- няющую ροль дяаφρагмы, ποмещенную в неποсρедеτвеннοй бли- зοсτи οτ οτρажаτеля 20, выποлненнοгο в виде сφеρичесκοгο •0 зеρκала с ценτροм κρявязны в ценτρе выχοднοгο зρачκа φο- κусяρующей οπτячесκοй сясτемы 2 я снабженнοгο οτсчеτным ;, лρясдοсοοленяем 22 и элеменτамя 23 леρемещеняя егο в πлοс- κοсτя усτанοвκя, πο κρайней меρе, в наπρавления οднοй яз κοορдянаτныχ οсей. 5 . . - Ηа φиг. 8 πρедсτавлена мοдяφицяροванная блοκ-сχема . οднοгο из ваρяанτοв οсущесτвленяя сποсοба я усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκτа, οбесπечяваю- - 24 -
    [0184] щегο οднοвρеменнο вοвмοжнοсτь τοчныχ язмеρеняй οбъеκτа яля егο чаеτей, а τаκже ποдсвеτκу всегο. ποля зρения.
    [0185] Κаκ я в πρедыдущяχ ваρяанτаχ,г усτροйсτвο / φиг. 8 сοдеρжиτ свеρχизлучающую лазеρную сρеду I, φοκусяρующую 5 οπτичесκую сясτему 2 οбъеκτ 3, свеτοделяτельный элемен 4,. 'οτρажающий элеменτ 5 с οлτячесκям заτвοροм 6, ρегясτ ρяρующую сρеду 7.'
    [0186] Οднаκο, дοποлняτельный свеτοделяτельный элеменτ 19 усτанοвлен в κанале οбρабοτκя. / яли любοм дρугοм месτе,
    [0187] 10 κροме κанала наблюденяя / я на наπρавленяя *ρасдροсτρане няя οднοгο.йз ποлученныχ с егο ποмοщью дοлοлниτельныχ с τοвыχ πучκοв ρазмещен еще οдин свеτοделиτельныи элеменτ 25, οбρазующяй еще два.свеτοвыχ πучκа. Пο χοду, οбρазοв ныχ τаκям οбρазοм свеτοвыχ κаналοв,. ρасποлοжены, πο οдн
    [0188] 15 му в κаждοм κанале сοοτвеτсτвеннο, ρегясτρяρующее πρиедο бление 7', οτρажающяи элеменτ 5 с οπτичесκим заτвοροм 6, οτρажаτель 20, φορмиρующий ρеπеρный знаκ, я οτρажаτель .26 ддя лοдсвеτκи οбъеκτа 3 лο всему лοлю зρения с οπτяч κим заτвοροм 27. Пеρед οτρажаτелем 20, κаκ и в ρанее οд
    [0189] 20 санныχ ваρианτаχ .выποлнения усτροйсτва, мοгуτ быτь усτа нοвлены οπτичесκий заτвορ 21 и свеτοφильτρ 18.
    [0190] Κροме эτοгο, леρед ρегисτρиρующей сρедοй 7 мοгуτ б τь. ρазмещены дοποлниτельные οπτичесκие элеменτы 28.
    [0191] Τаκοй ваρяанτ οсущесτвленяя сποсοба я усτροйсτва д
    [0192] 25 οбρабοτκя, ρегясτρацяя- я наблюденяя οбъеκτοв не сοдеρжя πρянцяπяальныχ οτлячий οτ ρанее οπисанныχ ваρианτοв, οд* наκο нагляднο ποκазываеτ все мнοгοοбρазие вοзмοжныχ сχе усτροйсτв, κοτορые мοгуτ быτь ρеализοваны в πρеделаχ на τοящегο. изοбρеτеняя-
    [0193] 30. Дοποлниτельнοе πρеямущесτвο насτοящегο ваρианτа за κлючаеτся в τοм, чτο на ρегисτρяρующую сρеду 7 наπρавля еτся вποлне οπρеделенная часτь всегο свеτοвοгο язлучени учасτвующегο. в προцессаχ οбρабοτκи, наблюдения, язмеρен ποдсвеτκя я τ.д. :Κοличееτвο сοздаваемыχ. πуτем ποследοва
    [0194] 85 τельнοгα ρасщеπления язлученяя κаналοв πρаκτичесκи οгρа ченο-лшиь ποτ.енциальнымя вοзмοжнοсτями свеρχизлучающей.- лазеρнοй сρеды я вρеменем сущесτвσваняя в ней янвеρсяя. - 25 -
    [0195] Οчевиднο, чτο мοжеτ быτь οсущесτвдена любая ποсле- дοваτельнοсτь ρасποлοжения κаналοв, τ.κ. ни οдин из ниχ не имееτ πρинциπиальныχ πρеимущесτв πеρед дρугимя. Κροме τοгο, πеρвοе ρаещеπленяе мοжеτ быτь πο амπляτуде, а ποс- 5 ледующее - πο длянам вοлн яля любым дρугям сποсοбοм я на- οбοροτ, в завясямοсτя οτ οτρажаτельнοй сποсοбнοсτя οбъеκ- τа я κοнκρеτнοй τеχнοлοгячесκοй задачя.
    [0196] Βсе свеτοделиτельные элеменτы, сοгласнο любοму из οπясанныχ выше ваρяанτοв, πρедποчτиτельнο выποлняτь, на-
    [0197] 10 πρямеρ, в вяде οπτячесκοгο κляна, чτοбы ясκлючяτь ποπа- даняе οτρаженнοгο οτ вτοροй ποвеρχнοсτя свеτοделяτеля яз- лученяя в свеρχязлучающую лазеρную сρеду, чτο πρяведеτ κ уχудшению услοвяй ρабοτы всеχ усτροйсτв πο насτοящему изο- бρеτеняю..
    [0198] 1.5 Дοлοлняτельные οπτячесκие элеменτы, сοгласнο любοму яз οπясанныχ выше ваρианτοв, πеρед ρегясτρяρующей сρедοй зыποлнены лρеимущесτвеннο в зяде προеκцяοнныχ линз и зеρ- κал, ποляρязацяοнныχ дρясшссблений, свеτοφяльτροв и τ.д. Ηаπρимеρ, προеκциοнные линзы и зеρκала ποзвοляюτ ποлучаτь
    [0199] 20 заданнοе увеличение на ρегисτρиρующей сρеде, а свеτοφиль- τρы - заданную яρκοсτь язοбρажения.
    [0200] Далее οсτанοвимся на οднοм яз ваρианτοв κοнсτρуκτив- нοгο выποлненяя свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, κοτορая яοποльзοвалась ддя ρеалязацяя любοгο из οлисанныχ ρанее
    [0201] 25 ваρианτοв вылοлнения усτροйсτва для οбρабοτκя, ρегясτρа- цяя я наблюденяя οбъеκτοв, χοτя, в πρянцяπе свеρχизлуча- ющая лазеρная сρеда мοжеτ быτь любοй дρугοй κοнсτρуκцяя.
    [0202] Усτροйеτвο в целοм, κаκ я в любοм яз πρедыдущиχ ва- ρианτοв / наπρямеρ φяг. 8 /, сοдеρжяτ свеρχязлучающую ла- 0 зеρную сρеду Ι,..φοκусяρующую οлτячесκую сясτему 2, οбъ- еκτ 3, свеτοделяτельный элеменτ 4 и οτρажающяй элеменτ 5. Οднаκο, свеρχязлучающая лазеρная сρеда I / φяг. 9 / πρедсτавляеτ сοбοй πлазму ρазρяда в ρазρяднοм κанале 29 с τедлοизοляρующим элеменτοм 30, усτанοвленным с лοмο-. 5 щью элеменτοв 31 κρеπления, κοτορые .мοгуτ являτься οднο- вρеменнο элеκτροдами, внуτρя ваκу^лнο-πлοτнοй οбοлοчκя 32. Пρя эτοм, τеπлοязοляρующнй элеменτ 30, выποлненный, - 26 -
    [0203] налρямеρ, в вяде зеρен τугοдлавκοгο я нязκοτедлοлροвοд- нοгο ποροшκа, ρасποлοжен между сτенκами ваκуумнο-длοτнο οбοлοчκя 32, ρазρядным κаналοм 29 и элеменτамя κρеπленя 31, а ρазρядный κанад 29 усτанοвлен в элеменτаχ κρеπле ння 31 ποдвижнο, с зазοροм, меныπям χаρаκτеρисτичесκиχ ρазмеροв зеρен уκазаннοгο τеллοизοлиρующегο элеменτа. .
    [0204] Βылοлненная τаκям οбρазοм свеρχизлучайцая лазеρна сρеда I ρабοτае-τ следующим όбρазοм.
    [0205] Κ элеκτροдам 31 πρяκладываеτся надρяжение, сοздаю щее ρазρяд в з.аπσлнеянοм буφеρным газοм, лρеямущееτвён неοнοм, ρазρяднοм κанале 29.. Слусτя неκοτοροе вρемя ποс πρялοжения наπρяжения ρазρядныи κанад.29 лροгρеваеτся τемπеρаτуρы, οбесπечявающе-й неοбχοдямοе'давление πаροв. ρабοчегο вещесτва, •наχοдящегοся в ρазρяднοм κанале 29, πρи э-τοм προясχοдиτ вοзбуждение аτοмοв ρабοчегο вещесτв πρявοдящее κ вοзняκнοвеняю свеρχизлучения. •
    [0206] ЭκсπлуаτацяοнΕая надежнοсτь. ρабοτы я дοлгοвечнοсτь свеρχизлучающей лазеρнοи сρеды οбесπечиваеτся за счеτ π вижнοгο заκρелления ρазρяднοгο κанала 29 в элеменτаχ κρ πления 31, а чисτοτа κанала 29 и выχοдныχ οκοн 33 свеρχ язлучащей лазеρнοй сρеды I - за счеτ выбορа зазορа меж ρазρядным κаналοм 29 я элеменτами κρеπленяя 31 меньшегο чем ρазмеρы зеρен ποροшκа τеπлοязοляρующегο элеменτа 30
    [0207] Дοлгοвечнοсτь свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды мοжеτ сοсτавляτь οτ 300 дο 2000 часοв и бοлее, πρя сρавниτель нο низκοй сτοимοсτи из-за προсτοτы κοнсτρуκция.
    [0208] Пροмышленная πρименямοсτь йзοбρеτение мοжеτ быτь исποльзοванο в элеκτροннοй лροмышленнοсτи, биοдοгия, медицине и дρугиχ οбласτяχ на уκи я τеχниκи для οсущ'есτвления лοκальнοгο избиρаτельнο гο вοздейсτвия лазеρнοгο излучения на ρазличные οбъеκτы с οднοвρеменным наблюденяем за нями на эκρанаχ бοльшοгο ρазмеρа, наπρямеρ, для яслρавления деφеκτοв на янτегρал ныχ сχемаχ я φοτοшаблοнаχ инτегρальныχ сχем в προцессе κοнτροля κачесτва яχ изгοτοвления ; для ποдгοнκя πаρамеτ ροв гябρидныχ янτегρальныχ сχем, κваρцевыχ ρезοнаτοροв, усτροйсτв на лοвеρχнοсτнο-аκусτичесκиχ вοлнаχ ; для миκ-
    [0209] ΟΜΡΙ - 27
    [0210] ροзаπиси инφορмации ; для лοκальнοгο вοздейсτвия на κлеτ- κи я дρугие биοлοгичесκяе οбъеκτы, ддя измеρения линей- ныχ ρазмеροв οбъеκτοв иди. яχ часτей-
    [0211] "δϋΚЁΑ Г
    [0212] ΟΜΡΙ
    权利要求:
    Claims
    - 28 -
    ΦΟΡΜУΜ ЙЗΟБΡΕΤΕШЯ
    1. Сποсοб οбρабοτκи, ρегисτρации я наблюденяя οбъ τοв ο ποмοщью свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, заκлючаю щийся в τοм, чτο свеτοвοй πучοκ, выχοдящий из свеρχизл чающей лазеρнοй сρеды наπρавляюτ с ποмοщью φοκусиρующе οπτячесκοй сясτемы на οбъеκτ, я οτρаженный я ρассеянны οбъеκτοм свеτοвοй πучοκ вοзвρащаюτ в уκазанную свеρχиз чающую лазеρную сρеду я, усиливая егο лρи лροχοждении свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды, φορмиρуюτ язοбρаженяе еκτа на ρегисτρиρующей сρеде, наπρимеρ на эκρане для в зуальнοгο наблюдения, οτличающийся τем, чτο свеτοвοй π чοκ, выχοдящий из свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды /I/ в сτοροну ρегисτρяρующей сρеды /7/, ρасщеπляюτ, πο меньш меρе, на две часτи, οдну яз κοτορыχ вοзвρащаюτ чеρез с язлучающую лазеρную сρеду /I/ на οбъеκτ /3/ дο οκοнчан сущесτвοвания янвеρсяи населеннοсτей в свеρχизлучающей зеρнοй сρеде /1/.
    2. Сποсοб πο π. I, στличающийся τем, чτο ρаещеπле свеτοвοгο πучκа προязвοдяτ πο янτенсивнοсτя язлученяя. 3. Сποсοб πο π. I, οτлячающяйся τем, чτο ρасщеπле свеτοвοгο πучκа προизвοдяτ πο длянам вοлн.
    4. Сдοсοб дο д, I, οτлячающяйся τем, чτο ρасщеπле свеτοвοгο πучκа προязвοдяτ κаκ πο инτенсявнοсτя язлуче τаκ я πο дπянам вοлн. 5* Сποсοб πο л. I, οτлячающяжся τем, чτο инτенсив нοсτь вοзвρащаемοгο чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρе
    /I/ κ οбъеκτу /3/ свеτοвοгο лучκа ллавнο ρегулиρуюτ.
    6.. Сποсοб πο π. 5, οτличающиися τем, чτο инτенсяв нοсτь свеτοвοгο лучκа, вοзвρащаемοгο чеρез свеρχизлуча ющую лазеρную сρеду /I/ κ οбъеκτу /3/, усτанавляваюτ ме шей, чем ποροг ρазρушеняя часτи οбъеκτа /3/, не ποдлежа щей οбρабοτκе.
    7. Сποсοб πο π.π. I, 5, οτлячающяйся τем, чτο вοз вρащаемый чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρеду /I/ κ ο еκτу /3/ свеτοвοй πучοκ οгρаничиваюτ πο ρазмеρам.
    8. Сποсοб πο π. 7, οτличающяйся τем, чτο οбρабοτκ
    ^ύΚΕ ΟΜΡΙ - 29 -
    οбъеκτа /3/ οсущесτвляюτ πуτем сκаняροвания οгρаняченным πο ρазмеρам свеτοвым πучκοм πο ποлю зρеняя φοκусяρующей οπτячесκοй сисτемы /2/.
    9. Сποсοб πο π. I, οτлячающяйся τем, чτο любую яз 5 οбρазοванныχ в ρезульτаτе ρасщедления часτей свеτοвοгο πучκа ρасщеπляюτ в свοю οчеρедь πο κρайней меρе на две часτя, любую яз κοτορыχ в свοю οчеρедь ρасщеπляюτ πο κρай- ней меρе еще на две нοвыχ часτя - я τаκ дο ποлученяя η* часτей.
    10. 10. Усτροйсτвο для οсущесτвленяя сποсοба οбρабοτκя,, ρегясτρацяя я наблюденяя οбъеκτοв πο π. I, сοдеρжащее . οб- ρазующие .κанал наблюденяя свеρχизлучающую лазеρную сρеду, φοκусиρующую οπτичесκую сисτему, ρасποлοженную между свеρχ- язлучающей лазеρнοй сρедοй я οбъеκτοм для наπρавленяя све-
    15 τοвοгο πучκа свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды на οбъеκτ, я ρегясτρиρующую сρеду, ρасποлοженную с προτявοποлοжнοй ρас- ποлοженяю οбъеκτа сτοροны уκазаннοй свеρχизлучающей лазеρ- нοй сρеды, οτлячающееся τем, чτο между свеρχизлучающей ла- зеρнοй сρедοй /I/ я ρегясτρиρующей сρедοй /7/ усτанοвлен
    20 πο меньшей меρе οдин свеτοделяτельный элеменτ/4 , *ρасщеπля- ющяй. выχοдящий яз свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды /I/ све- τοвοй πучοκ πο κρайней меρе на две часτи, на πуτи οднοй из κοτορыχ лοмещен οτρажающий элеменτ /5 , наπρавляющий свеτοвοй лучοκ чеρез свеρχизлучающую лазеρную сρеду /I/ 5 я φοκусиρующую οπτичесκую сясτему /2/ на οбъеκτ /3/, πρи- чем ποследний служяτ вτορым οτρажаτелем, οбρазующям с οτ- ρажаτельным элеменτοм /Ъ/ οπτячесκяй ρезοнаτορ. - -
    II. Усτροйсτвο πο π. 10, οτлячающееся τем, чτο между свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοй /I/ и ρегисτρиρующей сρе- 0 дοй /7/ усτанοвлен свеτοделиτельный элеменτ /4/, ρасщеπ- ляющий выχοдящий из свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды /I/ свеτοвοй πучοκ πο κρайней меρе на две часτи τаκим οбρазοм, чτο οдна часτь πучκа наπρавляеτся чеρез. свеρχизлучающую лазеρную сρеду /I/ на οбъеκτ /ЗД 5 12.. Усτροйсτвο πο π. Ю, οτлячающееся τем, чτο меж-- ду свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοи /I/, язлучающей πο меньшей меρе на двуχ длянаχ вοлн Л- ι я Л χ , я φюκусяρу— - 30 -
    ющей οπτичесκοй сисτемοй /2/ усτанοвлен дοлοлниτельный οτρажающий элеменτ /8/, часτячнο προлусκающий свеτοвοе чение свеρχизлучающей лазеρнοй сρеды /I/, лρячем свеτοд ляτельный элеменτ /4/ выποлнен ρазделяющим излучения дд
    13» Усτροйсτвο πο π. II, οτличающееея τем, чτο дοπ няτельный οτρажающий элеменτ /8/ выποлнен с заданным πρ πусκаняем для излучения с длинοй вοлны и προзρачным для излучения с ддинοй вοлны » лρичем излучение с д нοй вοлны ι ρасπροсτρаняеτся в κанале οбρабοτκи* а с длянοй вοлны Лζ " в κанале наблюденяя..
    14- Усτροйсτвο πο д» 10, οτлячающееся τем, чτσ οτρ жающий элеменτ /5/ усτанοвлен в ллοсκοсτя οπτичееκя сα лρяженнοй с πлοсκοсτью ρасποлοженяя οбъеκτа /3/. 15. Усτροйсτвο πο π.10,. οτлячающееся τем, чτο ρаз меρы οτρажающегο элеменτа /5/ не πρевышаюτ ρазмеροв πяτ ρассеяния, οбρазуемοгο φοκусиρующей οπτичесκοй сисτемοй /2/ в πлοсκοсτя„ сοлρяженнοи с πлοсκοсτью ρасποлοжения еκτа /3/. 16.. Усτροйсτвο дο д.10, οτличающееся τем, чτο в.κ нал οбρабοτκи введенο πρисποсοбленяе /10/ для πлавнοй ρ гуляροвκи янτенсивнοсτй свеτοвοгο язлученяя на οбъеκτе /3/. .
    Г7.. Усτροйеτвο πο π..10, οτлячающееся τем, чτο οнο снабженο. сρедсτвοм /II/ οлρеделения лοροга ρазρушения ο еκτа /3/."
    18. Усτροйсτвο πο π.π..16, 17,. οτличающееся τем, сρедсτвο /П οπρеделения πορσга ρазρушения οбъеκτа /3/ связанο с. πρяслοеοблением /10/ ддя πлавнοй ρегуляροвκи я τенсивнοсτи язлучения.
    19. Усτροйсτвο πο π.10,. οτличающееся τем, чτο οτρа жающий элеменτ /5/ выποлнен яз οτдельныχ ячееκ, ρасποлο- женныχ в πρеделаχ ποля зρения в месτаχ,. οπτячесκи сοπρя женныχ с сοοτвеτсτвующими учасτκами ποвёρχнοсτя οбъеκτа /3/,. πρя эτοм ποπеρечные ρазмеρы ячееκ не πρевышаюτ ρаз- меροв πяτна ρасееяния исποльзуемοй φοκусиρующей οπτичес- κοй сисτемы /2/ в πлοсκοсτяχ усτанοвκи ячееκ.
    ΟΜΡΙ νϊΡ0 - 31 -
    20. Усτροйсτвο πο л. 10,. οτличающееся τем, чτο οτ- ρажающий элеменτ /5/ связан с лρисποсοблением /13/ ддя егο πеρемещения в наπρавлении πο меныπей меρе οднοй из τρеχ κοορдинаτныχ οсей. * 5 21» Усτροйсτвο πο π..10,. οτличающееся τем, чτο πеρед οτρажающим элеменτοм /Ъ/ ρасποлοжены дοποлниτельные οπτя- чесκяе элеменτы /14/»
    22. Усτροйеτвο πο π.π. 10, 14, οτличающееся τем, чτο οτρажающяй элеменτ /5/ вылοлнен в вяде еφеρячесκοгο зеρ— Ю κала /ъ! / с ценτροм κρявязны в ценτρе выχοднοгο зρачκа φοκусяρующей οπτячесκοй сисτемы /2/.
    23- Усτροйсτвο πο π- 22, οτлячающееся τем, чτα οτρа- жающий элеменτ /§/ снабжен лρисποсοблеяяем /15/ для οгρа— ниченяя ρазмеροв егο οτρажающей ποвеρχнοсτи- ' 15 24- Усτροйсτвο πο π. 23, οτлячающееся τем, чτο πρяс— ποсοбленяе /1Ъ/ ддя οгρаниченяя ρазмеροв οτρажающей πο- веρχнοсτи οτρажающегο элеменτа /И зыποлненο πеρемещающям- ся в πлοсκοсτи егο уеτанοвκи и ямееτ „ πο κρайней меρе„ οднο οτвеρсτяе. 20 25- Усτροйсτвο πο л- 23, οτлячающееся τем, чτο лρяс— • лοсοбленяе /15 ддя οгρаниченяя ρазмеροв οτρажающегο эде- менτа /5/ вылοлненο яз услοвяя οбеслеченяя язменения πлο- щади οτвеρсτяя.
    26.. Усτροисτвο πο д. 23, οτличающееся τем, чτο лρис- . 5- ποсοбленяе /15/ ддя οгρанячення ρазмеροв οτρажающеи ποвеρχ- нοсτя οτρажающегο элеменτа /5/ выποлненο яз услοвяя οбес- πеченяя измеζенκя φορмы. οτвеρсτия.
    27. Усτροйеτвο πο π. 25» οτличающееся τем, чτα οнσ снабженο даτчиκοм /16/ πлοτнοсτи мοщнοсτи излучения я,. 0 связанным с ним, πρяслοсοбленяем /17/ для язмененяя πлσ— щадя яди φορмы οτвеρсτяя.
    28. Усτροйсτвο πο π.π. 10, 15, . οτлячающееся τем, чτο между свеρχизлучающей лазеρнοй сρедοй /I/ я ρегясτρяρую- щей сρедοй /7/ ρасποлοжен дοποлняτельный свеτοделяτельный 5 элеменτ /19/ я на наπρавления ρасπροсτρанения, ποлученнο- гο с егο ποмοщыг дοποлниτельнοгο свеτοвοгο πучκа ρазме— щены свеτοφильτρы /18/, οπτичесκяй заτвορ /21/ я οτρажа- - 32 -
    τель /20/, φορмиρующий πο меньшей меρе οдин ρедеρный зн наπρимеρ, в вяде κρуглοгο дяτна ποвышеннοй яρκοсτя на ο еκτе /3/ я на эκρане наблюденяя.
    29. Усτροйсτвο πο π. 28,- οτличающееся τем, чτο οτρ 5 жаτель /20/, φορмяρующяй. ρедеρныи знаκ, .снабжен οτсчеτн πρясποсοблениями /22/ и элеменτами /23/ πеρемещеняя егο κρайней меρе в налρавления οднοй из κοορдинаτныχ οсей в πлοсκοсτи, сοπρяженнοй с длοсκοсτью ρасдοлοженяя οбъеκτ /3/.
    10 30. Усτροйсτвο дο д. 28, οτлячающееся τем, чτο леρ οτρажаτелем /20/ ποмещена днаφρагма, снабженная οτсчеτн ми дρислοсοбленяямй и элеменτами πеρемещения ее πο κρай меρе в наπρавления οднοй яз κοορдинаτныχ οсей.
    * 31. Усτροисτвο πο д. Ю, οτличающееся τем, чτο в ο
    15. из. οдτичесκиχ κаналοв, на κοτορые делиτ. излученяе свеτο ляτелъныи'элеменτ /4/, введен дοποлниτельный свеτοделиτ льный элеменτ /19/, в свοю οчеρедь в οдин яз οπτичесκиχ κаналοв, на κοτορые делиτ язлучение дοлοлниτельный свеτ деляτельный элеменτ /19/, введен еще οдин свеτοделяτель
    20 ныи элеменτ /25/, а лο "χοду οбρазοванныχ свеτοделиτельн κаналοв ρасποлοжены, πο οднοму в κаждοм из κаналοв, сοο веτсτвеннο, ρегисτρяρующее πρяслοеοбление /7/, οτρажающ элеменτ /5/, οτρажаτель /20/, φορмиρующяй ρеπеρный знаκ я οτρажаτель /26/ ддя ποдοτвеτκи οбъеκτа /3/ πο всему π
    25, лю зρеняя.
    - 32. Усτροйеτвο πο д.д. Ю, 28.,.31, οτличающееся τе чτο свеτοдεлиτельные элеменτы /4 выποлнены в вяде οπτи чесκοгο κлина.
    33. Усτροйсτвο πο π.π..10, 28,- 31, οτличающееся τе 0 чτο πеρед ρегисτρиρующей еρедοй /7/ уеτанοвлены дοлοлни τельные οπτичесκие элеменτы /28/.
    34. Усτροйсτвο πο любοму. из πунκτοв 10- 33, οτлич ющееся τем, чτο свеρχизлучающая лазеρная сρеда /I/ πρед сτавляеτ сοбοи ρазρядный κанал /29/ с τеπлοизοлиρующим 5 элеменτοм /30/, усτанοвленным с ποмοщью элеменτοв /31/ - κρеπленяя внуτρи ваκуумнο-πлοτнοй οбοлοчκи /32/, а τеπ лοизοлиρующяй элеменτ /30/, выдοлненный в виде зеρен τу - 33 -
    гοπлавκοгο ποροшκа с малым κοэφφяцяенτοм τеπлοдροвοднοс- τя, ρасποлοжен между сτенκами ваκуумнο-πлοτнοй οбοлοчκя /32/, ρазρддным κаналοм /2.9/ я элеменτами κρешιеняя /31/, πρичем ρазρядный κанал /29/ усτанοвлен в элеменτаχ κρед- . леняя /31/ дοдвяжнο, с зазοροм,меныπям χаρаκτеρясτячес- κиχ ρазмеροв зеρен.уκазаннοгο дοροшκа.
    35. Усτροйсτвο дο д. 34, οτлячающееся τем, чτο эле- менτы /31/ κρеπленяя ρазρяднοгο κанала /29/ οднοвρеменнο служаτ элеκτροдамя для ποдвοда энеρгия вοзбуждения κ свеρχ- излучающей лазеρнοй сρеде /I/.
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    Zhang et al.2011|Trapping and transporting aerosols with a single optical bottle beam generated by moiré techniques
    JP6275240B2|2018-02-07|１９３ｎｍレーザ及び１９３ｎｍレーザを用いた検査システム
    US5164848A|1992-11-17|Helmet mounted display
    JP5244281B2|2013-07-24|材料を操作するために光ピンセットを使用する装置
    US4733944A|1988-03-29|Optical beam integration system
    EP0746865B1|2003-03-26|Fluorescence imaging system employing a macro scanning objective
    Tucker et al.1999|Extended depth of field and aberration control for inexpensive digital microscope systems
    EP0541658B1|2000-03-15|High power light source
    ES2123501T5|2004-07-16|Microscopio de barrido laser de dos fotones.
    EP0015988B1|1985-09-04|Scanning optical system
    US4828357A|1989-05-09|Apparatus for producing ultra-high power, ultra-high density laser beam
    US6028306A|2000-02-22|Scanning microscope
    AU2006224935B2|2011-02-24|Optical manipulation system using a plurality of optical traps
    US4623219A|1986-11-18|Real-time high-resolution 3-D large-screen display using laser-activated liquid crystal light valves
    JP5241525B2|2013-07-17|レーザ加工装置
    US5035476A|1991-07-30|Confocal laser scanning transmission microscope
    KR100586348B1|2006-07-25|가상레티날표시시스템
    CA2147634C|2003-12-09|Virtual retinal display
    EP0121033B1|1990-04-25|Solid-state laser scanning system and electrophotographic machine including the same
    CN103257130B|2015-04-01|受激辐射损耗显微成像系统
    US7477380B2|2009-01-13|Scanning microscope comprising a confocal slit scanner for imaging an object
    US5028802A|1991-07-02|Imaging apparatus and methods utilizing scannable microlaser source
    US6765725B1|2004-07-20|Fiber pigtailed high power laser diode module with high brightness
    US3705755A|1972-12-12|Microscopy apparatus
    US7170675B2|2007-01-30|Method and system for wide-field multi-photon microscopy having a confocal excitation plane
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPS57501256A|1982-07-15|
    DE3050326A1|1982-04-15|
    FR2479487B1|1984-06-29|
    DE3050326C2|1985-12-05|
    FR2479487A1|1981-10-02|
    JPH0252429B2|1990-11-13|
    CH658753A5|1986-11-28|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1981-10-15| AK| Designated states|Designated state(s): CH DE JP US |
    1982-04-15| RET| De translation (de og part 6b)|Ref document number: 3050326 Country of ref document: DE Date of ref document: 19820415 |
    1982-04-15| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 3050326 Country of ref document: DE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    [返回顶部]